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束蘊儀器(上海)有限公司
Mono-andMulti-crystallinewaferandbricklifetimemeasurementdevice應用范圍:用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(PCD/MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查
應用范圍:用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量
根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查。
晶圓切割,爐內監控,材料優化等。
日常壽命測量,質量控制和檢驗
精密材料研發
特性
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