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束蘊儀器(上海)有限公司
C60-40是目前性能較高的C60光束,具有300納米的光斑尺寸和高達1毫安的束流。從生物醫學應用到聚合物科學和冶金,C60-40都可以做到這一點。得益于與其他C60離子束相同的均勻濺射,但由于更高的束能量,C60-40具有難以置信的精細斑點和更高的蝕刻率,是一種用于廣泛應用的極其強大的分析工具。
C60-40是目前性能較高的C60光束,具有300納米的光斑尺寸 和高達1毫安的束流。 從生物醫學應用到聚合物科學和冶金,C60-40都可以做到這 一點。得益于與其他C60離子束相同的均勻濺射,但由于更高 的束能量,C60-40具有難以置信的精細斑點和更高的蝕刻 率,是一種用于廣泛應用的極其強大的分析工具。 C60-40是一款出色的型產品,Ionoptika銷售的每臺J105 SIMS儀器中都包含C60-40。
下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成,覆蓋在保護性光 刻膠層中。 這種軟有機、無機和硬金屬層的結合對于大多數其他離子束 來說是極其困難的。C60-40是這一棘手應用的理想選擇,因 為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300 nm的 光斑尺寸相結合,是一種強大的光束,無論您使用何種類型 的樣品,都能在2D和3D中提供較高分辨率。
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