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HORIBA S48-28氣體質量流量控制器

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產品型號HORIBA S48-28

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更新時間：2024-01-08 14:32:36瀏覽次數：208次

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產品簡介

HORIBA S48-28氣體質量流量控制器

詳細介紹

HORIBA S48-28氣體質量流量控制器
特點
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
流量范圍100L-200L/min
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的抑制
化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的選擇性
S48 28/HMT模擬式氣體質量流量控制器技術參數

項目	S48 28/HMT
流量規格	(100,150,200)L/min
調節閥類型	電磁調節閥
調節閥靜止狀態	常閉
安裝角度	任意
流量控制范圍	5%～99%
流量測量范圍	0～99%
響應時間	2s（T98，設定值的±2% F.S.）
工作環境溫度	5℃～50℃
精度保證溫度	15℃～35℃
精度	±1.0%F.S.
線性精度	±0.5%F.S.
重復性	±0.2%F.S.
工作壓差	（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa
耐壓	3MPa
泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton氟橡膠
管路接頭	Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″
供電電源	±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA	+24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供電時)
設定信號	(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
流量輸出信號	(0～5)VDC 負載能力≤3mA
電氣接頭	D-SUB15,D-SUB9
重量(kg)	2.8