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西安奧信自動化儀表有限責任公司
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智能質量流量計小體積流量控制器熱式氣體質量流量計用途與特點質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制
智能質量流量計 小體積流量控制器 熱式氣體質量流量計
用途與特點
質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術指標
量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
準確度 +1.5%F.S
線性 +0.5~1.5%F.S
重復精度 +0.2%F.S
響應時間 10sec 氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作環境溫度 0~70℃
數字量 RS485 MODBUS 協議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材質 316L 不銹鋼
密封材質 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定.
質量流量的單位規定為:SCCM(標準毫升/分);SLM(標準升/分)
智能質量流量計 小體積流量控制器 熱式氣體質量流量計
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