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高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″，溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá) 10^-5torr，混氣系統(tǒng)可對(duì)1-9種氣體進(jìn)行精確的混合，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，可用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。

產(chǎn)品型號(hào)	高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。 2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長(zhǎng)使用壽命。 3、設(shè)有三個(gè)溫區(qū)，可獨(dú)立控溫，可設(shè)置50段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)。 4、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動(dòng)架內(nèi)，方便移動(dòng)。 5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start”鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)，待真空度達(dá)到 10^-2mbar后分子泵自動(dòng)啟動(dòng)）。 6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。 7、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	管式爐 1、電源：AC 208V-240V單相 50Hz/60Hz 7KW 2、爐管：高純石英管，外徑Ø100mm×內(nèi)徑Ø92mm×1400mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯 4、加熱區(qū)：溫區(qū)I長(zhǎng)220mm，溫區(qū)II長(zhǎng)440mm，溫度III長(zhǎng)220mm，總長(zhǎng)880mm 5、恒溫區(qū)：500mm（三個(gè)溫區(qū)設(shè)為同一溫度時(shí)） 6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、升溫速率：≤20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：3根K型熱電偶
	高真空機(jī)組 1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換 50Hz/60Hz 2、消耗功率：110W 3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm 4、承重量：270kg 5、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s 6、工作范圍：1000mbar-<10^-7mbar 7、極限真空度：10^-5torr 8、數(shù)字式真空顯示計(jì)：10^-8mbar-10³mbar
	質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、質(zhì)量流量計(jì)：9通道精密質(zhì)量流量計(jì) 2、流量計(jì)范圍：10sccm-1000sccm三個(gè)，20sccm-200sccm三個(gè)，30sccm-10sccm三個(gè) 3、壓力表：3個(gè)，用來(lái)檢測(cè)混合氣體壓力
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm，　　　質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm 重量：100kg
真空配件	1	不銹鋼真空密封法蘭	2個(gè)
	2	精密針閥	2個(gè)
	3	1/4″軟管接頭	1個(gè)
	4	高溫硅膠O型密封圈（可承受300℃）	6個(gè)
	5	氧化鋁管堵	1套
	6	KF-40真空波紋管	1根
	7	KF-40快速卡箍	3個(gè)
	8	KF-25卡箍	2個(gè)
可選配件	防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)