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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z 水冷系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間:2023-07-28 09:45:59瀏覽次數(shù):260次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

 

 

產(chǎn)品型號

混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

主要特點

精度高,運行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:185-245V  50Hz

2、輸出功率:18W

3控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

5、準(zhǔn)確度:±1%FS

6、線性:±0.5-1.5%

7、重復(fù)精度:±0.2%FS

8、響應(yīng)時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11、混氣罐:Ø80mm×120mm

12截止閥:Ø1/4″316不銹鋼針閥

13、工作溫度:5-45

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:600mm×600mm×650mm


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