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沈陽科晶自動化設備有限公司
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25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC
產品簡介：25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC是一款小型程控感應熔煉系統，配備有直徑Ø100mm的石英管、不銹鋼法蘭、石墨坩堝、真空泵、水冷機和移動架，功率為25KW，是生長晶體和合金熔煉（熔點< 1700ºC）的理想選擇。
25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC操作視頻
| 產品型號 | 25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：需要 |
| 主要特點 | 1、配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。 2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。 3、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。 4、配有防腐型真空計，當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換，量程可到3.8×10E-5 torr。 5、配有雙旋直連式機械泵。 |
| 技術參數 | 高頻感應加熱爐 1、工作電壓：三相AC 380V 50Hz（需60A空氣開關） 2、輸入功率：15KW 3、振蕩頻率：30KHz-80KHz 4、循環比：80% 5、感應線圈：外徑Ø120mm，內徑Ø110mm，高50mm（可微調） |
| 溫度控制器 1、工作電壓：AC208V-240V 單相 2、控溫精度：±5℃ 3、溫度：連續工作溫度1000℃-2000℃，工作溫度1700℃（工作時間<30min） 4、升溫速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃） | |
| 石墨坩堝（易耗件） 1、高純石墨坩堝：外徑Ø40mm，內徑Ø37.1mm，高100.5mm（可選購SiC涂層，涂在坩堝內部，以提高金屬熔煉時的潔凈度） 2、容量：樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2 | |
| 石英管和密封法蘭 1、石英管：外徑Ø100mm，內徑Ø92mm，長355mm 2、頂部法蘭：不銹鋼法蘭，裝有不銹鋼針閥，設有1個鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度） 3、底部法蘭：設有不銹鋼針閥和KF25接口（可通過波紋管與真空泵相連接） | |
| 水冷機 1、溫度：5℃-30℃ 2、水流速：16L/min 3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作 （建議使用特定的冷卻劑液以達到的冷卻效果） | |
| 真空泵 1、工作電壓：AC208V-240V單相 2、抽氣速率：120L/min 3、極限真空度：10-2torr （為了獲得更高的真空度以達到更好的熔煉效果，可選購渦旋分子泵，真空度可達10E-5torr） | |
| 注意事項 | 操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行，流量小于200ml/min，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超過安 全值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。 |
| 其他事項 | 本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。請參看下圖。 |
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