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沈陽科晶自動化設備有限公司
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2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC
產品簡介：2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC是一款較大型高溫感應加熱、熔煉爐系統，配備30KW感應加熱器、8.5"（216mm）石英管、鉸接式法蘭及閥門、石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯、16L/min循環冷水機、真空泵和移動爐架，溫度可以達到2000℃（使用時石英管內需通入保護性氣體），是生長晶體、金屬熔煉和各種材料的熱處理的選擇。
2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC操作視頻
| 產品型號 | 2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：需要 |
| 主要特點 | 1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。 2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。 3、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。 4、配有防腐型真空計，當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換，量程可到3.8×10E-5 torr。 5、迷你型浮子流量計精度為4%。 6、配有雙級旋片機械泵（2L/s），可使石英管內真空度達到10E-2torr。 |
| 技術參數 | 感應加熱器 1、工作電壓：三相AC 380V 50Hz（需60A空氣開關） 2、工作電流：7Amps-70Amps（需100A空氣開關） 3、功率：振蕩功率30KW，輸入功率15KW 4、輸出頻率：30KHz-110KHz 5、占空比：80% 6、感應線圈：內徑Ø220 mm，高65 mm 7、空氣冷卻：后風扇 |
| 溫度控制器及熱電偶 1、工作電壓：AC208V-240V 單相 2、控溫精度：±3℃ 3、熱電偶：C型，外徑Ø1/4"，長10" 4、連續工作溫度范圍：1000℃-2000℃ 5、升溫速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃） | |
| 石墨坩堝（易耗件） 1、高純石墨坩堝：外徑Ø114mm，內徑Ø100mm，高142mm 2、容量：樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2，質量為4kg（以鐵標定） 3、保溫層：石墨坩堝外環繞三層隔熱材料，從內至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）-高 溫氈，總厚度為32mm | |
| 石英管和密封法蘭 1、石英管：兩端開口，外徑Ø216mm，內徑Ø208mm，長500mm 2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥，設有1個1/4"的鎧裝接口（可插入熱電 偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度） 3、底部法蘭：設有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接 | |
| 水冷機 1、溫度：5℃-30℃ 2、水流速：>16L/min 3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作 4、水壓：≥0.1MPa 5、流量：≥5L/min （建議使用特定的冷卻劑液以達到的冷卻效果） | |
| 真空泵 工作電壓：AC208V-240V單相 | |
| 移動爐架 尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結構，方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管 | |
| 產品規格 |  |
| 注意事項 | 操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行，流 量小于200ml/min，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超過安 全值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。 |
| 其他事項 | 本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。請參看下圖。 |
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