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1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長(zhǎng)）GSL-1100X-III-D11-8

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長(zhǎng)）GSL-1100X-III-D11-8

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長(zhǎng)）GSL-1100X-III-D11-8外爐管直徑達(dá)到11"，內(nèi)管直徑8.5"，在加熱管一端裝有一對(duì)高真空不銹鋼法蘭，法蘭上配有機(jī)械壓力表和閥門，三個(gè)溫區(qū)都采用30段可編程數(shù)字控溫器，并配有K型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫，專門針對(duì)于在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜物質(zhì)。

產(chǎn)品型號(hào)	1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長(zhǎng)）GSL-1100X-III-D11-8
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<70℃。內(nèi)爐膛采用高純度氧化鋁材料，可以的減少能量的損失。 2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用硅膠密封圈進(jìn)行密封。 3、采用三個(gè)PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。 4、加熱前需將石英管堵放入爐管，防止熱量以熱輻射的形式散失。 5、使用內(nèi)管進(jìn)行薄膜生長(zhǎng)可放置8"的基片。 6、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 220V 50Hz/60Hz 8KW（需50A的空氣開關(guān)） 2、石英管：外管外徑Ø279mm，內(nèi)徑Ø269mm，長(zhǎng)1300mm，兩端打開，可連接法蘭內(nèi)管外徑Ø216mm，內(nèi)徑Ø206mm，長(zhǎng)750mm，一端封閉，一端連接氣體出入口 3、加熱元件：NiCrAl電阻絲 4、加熱區(qū)域：長(zhǎng)900mm 5、溫區(qū)：3個(gè)，各300mm長(zhǎng) 6、恒溫區(qū)域：500mm（三個(gè)溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度） 7、工作溫度：1100℃（<1h），連續(xù)工作200℃-1000℃ 8、升降溫速率：10℃/min 9、熱電偶：3個(gè)，K型 10、控溫精度：±1℃ 11、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵） 12、法蘭：左側(cè)法蘭包括化學(xué)氣相淀積進(jìn)氣口和冷卻氣體進(jìn)出口，右側(cè)法蘭設(shè)有KF-40真空接口和真空閥門
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm，包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm 重量：200kg
可選配件	1、石英管堵 2、PC控溫軟件 3、KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭