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沈陽科晶自動化設備有限公司
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VTC-200-CE半柜式清洗機
產品簡介：VTC-200-CE半柜式清洗機采用直線導軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來回掃動,同時配備有去離子水淸洗和氮氣吹干功能,采用高精度伺服電機控制 wafer的旋轉,由七寸全彩觸屏進行操作，全不銹鋼機柜,耐腐蝕透明觀察蓋,絲桿直線導軌,不銹鋼內腔,設計合理,經久耐用。伺服馬達控制旋轉速度和時間,自動控制顯影、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復性好。
| 產品名稱 | VTC-200-CE半柜式清洗機 |
| 主要特點 | 1、不銹鋼半柜式設計，觸摸屏操作 2、透明觀察窗，帶排廢和抽風功能 3、可移動式直線導軌清洗，行程可定制 4、最多可配備四路清洗或氮氣吹干系統 5、可處理基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容 6、更大尺寸可定制 |
| 技術參數 | 1、旋轉速度可調范圍：20-10000rpm 2、加速度可調范圍：0-50000rpm/s 3、標配直線導軌行程：100mm；移動速度:100mm/s 4、標配兩路噴液系統，扇形或柱形噴嘴可選 5、標配10L不銹鋼壓力桶兩只，其它規格可選 6、清洗液或氮氣加溫系統可選配 |
| 產品規格 | 尺寸：940mm(長)×800mm(寬)×1100mm（高） |
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