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沈陽科晶自動化設備有限公司


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VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-29 13:02:14瀏覽次數:209次

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產品簡介

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

詳細介紹

產品簡介:VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發的一款高真空鍍膜設備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀配備有兩個靶槍,一個弱磁靶用于非導電材料的濺射鍍膜,一個強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設備相比,且具有體積小便于操作的優點,且可使用的材料范圍廣,是一款實驗室制備各類材料薄膜的理想設備。

 

產品型號

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

主要特點

1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。

2、可制備多種薄膜,應用廣泛。

3、體積小,操作簡便。

技術參數

1、輸入電源:220V/50Hz

2、濺射靶數量:2

3、靶槍冷卻方式:水冷

4、極限真空度:7.4E-5pa

5、真空室規格:Φ300×330 mm

6、真空系統:VRD-16機械泵 FF-100/150渦輪分子泵

7、恢復真空:系統從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統短時間暴露大氣)

8、充氣系統:2路質量流量計(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制

9、濺射靶規格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質不同厚度有所不同)

10、樣品臺:Φ140mm/可旋轉(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)

產品規格

主機尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm

關鍵詞:質量流量計

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