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沈陽科晶自動化設備有限公司
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PCE-3等離子清洗機
產品簡介：PCE-3等離子清洗機的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體，輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備，在射頻電源的作用下，去除速率可達10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機配有一個真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。
PCE-3等離子清洗機操作視頻
| 產品名稱 | PCE-3等離子清洗機 |
| 產品型號 | PCE-3 |
| 主要特點 | 1、使用可調射頻電源， 可以設置低、中、高功率。 2、桌上型設備，結構緊湊、操作安全、環境友好、低成本。 |
| 技術參數 | 1、輸入電壓：110V/220V、50Hz/60Hz （請提前選定），小于100W 2、射頻輸出頻率：13.56MHz 3、等離子直流電源：低功率設定—680V，10mA，6.8W；中功率設定—700V，15mA，10.5W； 高功率設定—720V，25mA，18W 4、等離子腔室：Ø75mm×165mm，耐熱玻璃，前蓋可拆卸 5、通入氣體：可通入多種氣體，如N2、Ar、空氣、混合氣體等，主要根據處理材料性質所定 6、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar），可選擇數字真空表，針閥控制氣體流 量，采用三通閥門快速控制進氣、密封等離子腔室、排氣 |
| 清洗及蝕刻 |  |
| 產品規格 | 尺寸：200mm×250mm×210mm；重量：8kg（不含泵） |
| 注意事項 | 不能使用可燃性氣體 |
| 可選配件 | 本司研發的電阻真空計 以Pirani電阻規在不同真空環境下的熱傳導性為原理而研發的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1 Pa非腐蝕性氣體環境的真空測量。 |
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