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PCE-6V小型等離子清洗機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-01-30 07:37:48瀏覽次數:282次

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產品簡介

PCE-6V小型等離子清洗機

詳細介紹

產品簡介:PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級PCE-6V小型等離子清洗機的樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。設備體積小,操作簡單,應用廣泛。

產品名稱

PCE-6V小型等離子清洗機

產品型號

PCE-6V

主要特點

1采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染

2可短時間內清洗掉有機污染物

3清洗程度可達到分子級

4可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能

5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。

6樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。

7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

技術參數

1電壓:AC220V  10A

2消耗功率:<500W(包括真空泵)

3RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

4、腔體:Ø190mm×98mm

5、石英管:Ø180mm×55mm,壁厚7mm

6、內腔:Ø165mm×55mm

 7、清洗電極:Ø120mm 

8、樣品臺:Ø150mm,有效尺寸Ø140mm

9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調

 10、抽氣管:Ø12mm

 11、極限真空度:0.1Pa

 12、工作真空度:60Pa-500Pa

 13、氣路數量:2路(選裝)

 14、流量控制器數量:12

 15、流量顯示儀:2通道

 16、氣路接口:Ø6mm

 17、加熱樣品臺:Ø140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

 18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

 19、工作環境:溫度5-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m

產品規格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵),重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

1、加熱樣品臺

2、流量控制器(量程1050100,可增加通道數≤2


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