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沈陽科晶自動化設備有限公司


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VTC-200-4P噴霧旋轉涂覆機,勻膠機

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更新時間:2022-11-04 16:19:41瀏覽次數(shù):224次

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產(chǎn)品簡介

VTC-200-4P噴霧旋轉涂覆機,勻膠機

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機,在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過程的順利進行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進行控制,電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,轉數(shù)100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要進行設置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、spin coater啟動快速、轉數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定,采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡便。此外,在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。

 

 

 

產(chǎn)品型號

VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater

 

 

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有進出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

3、氣:不需要

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡便;橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進行定制。

2、該機上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。

3、本機上蓋具有4組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。

4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式,電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠,轉數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。

5、涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要,可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后,涂膜機先以轉速1在時間1時間內(nèi)運轉,使涂膜物質逐漸分散開。當時間1時間結束時,涂膜機自動進入時間2時間階段運轉,使涂膜物質更加均勻。

6、噴霧旋轉涂覆機啟動快速、轉數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。

7、在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。

8、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優(yōu)異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。

技術參數(shù)

1、電源:AC220/110V、50/60Hz

2、電機功率:功率210W

3、雙轉速涂膜功能:雙轉速及涂膜時間分別設置,在啟動后先低速運轉(滴涂膠液),然后自動轉換到高速運轉(勻膠)。轉速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質均勻。

轉數(shù)1:100-2000 RPM有效

時間1:1--200s有效

轉數(shù)2:100-2000 RPM有效

時間2:1--200s有效

4、適用于Φ153mm樣件涂膜。

5、上蓋加熱溫度范圍:0-100℃。

6、環(huán)境溫度5-40℃,相對濕度不大于85%RH,設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。

規(guī)格尺寸

主機外形尺寸500mm(長)×410mm(寬)×330mm(高),重量24Kg。

標準配件

1

磁性鋼片模板(Ф160mm)

1件

2

吸盤(Ф153mm)

1件

3

溫控箱

1臺

4

蠕動泵

6臺

可選配件

橡膠吸盤

橡膠吸盤

磁力鋼片模板(可定制)

磁力鋼片模板

 

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