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DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制合金膜或化合物,DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾涂層,DH900DZX多弧磁控鍍膜機具有鍍膜速度快,膜層質量好的優點。DH900DZX多弧磁控鍍膜機.DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機.磁控鍍膜機
DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機
DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾涂層,具有鍍膜速度快,膜層質量好的優點。
◆ 真空室:鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前開門結構;
◆ 抽氣系統:機械泵:前級泵70L/S;維持泵:2×-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150;擴散泵:KT-500凸腔擴泵;分子泵:FF250/1600﹝選配﹞
◆ 極限真空:5×10-4Pa; 恢復真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
◆ 鍍膜系統:平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;
◆ 輔助鍍膜系統:脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
◆ 膜厚測量系統:石英晶體膜厚監控系統﹝選配﹞。
◆ 進氣系統:自動壓強控制+多路質量流量控制系統;
◆ 操作方式:手動按鍵式;自動控型配置:研華工控機,80G硬盤,512內存+日本三菱PLC;15英寸液晶顯示觸摸屏界面;
◆ 旋轉夾具:公轉/自轉夾具,速度從0~15r/min 無級可調;
◆ 工作烘烤:室溫~300 ℃;
◆ 供電電源:三相380V,50HZ。
◆ 特殊規格可定制。
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