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北京卓立漢光儀器有限公司
斐索干涉儀原理為等厚干涉,單色光束在標準平面或標 準球面上,部分反射為參考光束;部分透射并通過被測件后 反射回來的光束作為檢測光束。檢測光束自準返回,與參考 光束重合,形成等厚干涉條紋。斐索干涉儀是檢測光學元件 面形、光學鏡頭波面像差以及光學材料均勻性等參數的一種精密儀器。
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