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DVIA-MO系列主動隔振光學平臺

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更新時間:2022-10-13 14:47:00瀏覽次數(shù):272次

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產(chǎn)品簡介

DVIA-MO 系列高精密主動隔振光學平臺為韓國DAEIL(大一)株式會社生產(chǎn)的主動隔振光學平臺,由臺面和主動隔振支撐兩部分組成。

詳細介紹

產(chǎn)品概述


DVIA-MO 系列高精密主動隔振光學平臺為韓國DAEIL(大一)株式會社生產(chǎn)的主動隔振光學平臺,由臺面和主動隔振支撐兩部分組成。
臺面采用真蜂窩三層夾心式結構,上臺面為熱形變系數(shù)很小的430 系列高導磁鎳合金不銹鋼,臺面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺紋孔,方便安裝儀器,每個螺紋孔下方具有獨立的隔離杯,方便清潔。中間是真蜂窩支撐結構,是把0.25 毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結構,增加了臺面結構的密度,減小體積,采用*的粘合工藝,堅固耐用。臺面的底部和側板用碳鋼作為主體材料,具有非常優(yōu)秀的動態(tài)和靜態(tài)的剛性。
主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機構和主動隔振器DVIA-M,每個支撐里面一般會有4 個DVIA-M 系列主動隔振器和一臺主控箱。主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅動器,主要消除0.5-10Hz 的外部振動, 被動隔振系統(tǒng)部分同時承擔著支撐負載和隔絕高頻率振動的作用。
這個系列的平臺可以在低頻范圍(0.5-10Hz)提供非常隔振性能,它可以應用于很多對振動要求非常高,甚至具有挑戰(zhàn)的領域,比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學研究和制備等。

主動隔振光學平臺DVIA-MO系列特點:
 
•具有非常優(yōu)良的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz-10Hz達到90%以上的隔振效率;
•采用慣性傳感器,可以檢測出六個自由度的振動并做補償;
•采用真蜂窩三層夾心式結構臺面,厚度可選100/200/300mm;
•進口精密主動隔振光學平臺;
•隔振性能優(yōu)異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀 ,半導體檢測設備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等

細節(jié)說明: 
 

應用案例

光學平臺隔振性能參數(shù):

主動隔振光學平臺DVIA-MO系列技術指標:
 
• 固有頻率:0.5-100Hz
• 自動平衡,相應時間短,平衡速度快
• 鋼制真蜂窩結構,:0.25mm厚箔
• 蜂窩芯尺寸 :3.2cm2 (0.5 in²)
• 表面平整度:±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)
• 上臺面 :4mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼
• 下地面 4.5厚碳鋼,表面氧化處理
• 邊墻板 2.0mm厚碳鋼。包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔徑: M6 (英制螺孔可選)
• 孔距:25mmX25mm(英制孔距可選),*外邊孔距平臺邊緣37.5mm
• 螺孔密封:每個螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封,方便清潔
• 阻尼隔振方式:寬帶阻尼
 
DVIA-M系列主動隔振器參數(shù)表:
 
型號 DVIA-M1000 DVIA-M2000 DVIA-M3000
尺寸 隔振器(mm) 215x215x180 232x232x180 308x308x180
控制器(mm) 334x357x120 334x357x120 334x357x120
*大負載(kg) 1500-3500 1500-3500 1500-3500
重量(kg) 15 15 15
驅動方式 電機驅動
隔振自由度 6個自由度
隔振效率 95%-99%at 10Hz
回復時間 <0.5Sec
驅動器推力 豎直>20N,水平>40N
輸入電壓 AC 85-264/50-60Hz
功率消耗 峰值功率110W,穩(wěn)定功率50W
空氣壓力 大于0.5Mpa
環(huán)境要求 溫度℃ 5-50°C
濕度 20%-90%
主動隔振頻率范圍 0.5-100Hz
初始水平調(diào)整 自動調(diào)整
系統(tǒng)配置 4個隔振器包含控制箱

主動隔振光學平臺DVIA-MO系列選型表詳見資料下載


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