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反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

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更新時間：2022-11-06 13:30:10瀏覽次數：256次

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產品簡介

反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

詳細介紹

概要
規格

概要

EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和蝶形閥設計確保了本產品的高速、高分辨度響應。

特征

適合高真空環境使用：不銹鋼質本體
抗腐蝕
使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
適合對于腐蝕性氣體的使用

當排氣端流量被調整到的位置：

抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
阻止了噴霧的次級沉積
阻止了危險水蒸氣的擴散
此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產品造成的影響更小
此產品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業前，必需從日本經濟產業省的相關部門獲得出口許可證件。

規格

Model EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.