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輔光精密儀器（上海）有限公司
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顯微鏡聚焦位移臺FTP-2000是專業為顯微鏡聚焦位移定位設計的XYZ顯微鏡位移臺,為顯微鏡物鏡聚焦提供XYZ三軸三維的高精度高分辨率位移定位,非常適合固定載物臺的顯微鏡或其它任何XYZ定位的應用
顯微鏡聚焦位移臺FTP-2000是專業為顯微鏡聚焦位移定位設計的XYZ顯微鏡位移臺,為顯微鏡物鏡聚焦提供XYZ三軸三維的高精度高分辨率位移定位,非常適合固定載物臺的顯微鏡或其它任何XYZ定位的應用。
顯微鏡聚焦位移臺所有XYZ三軸精確控制是通過閉環直流伺服電機實現的，閉環直流伺服電機采用高分辨率的旋轉編碼器進行定位反饋。通過對顯微鏡聚焦位移臺位置的閉環控制,避免出現位置信息丟失的問題,而開環微步位移臺在多次移動和改變方向后會發生位置信息丟失問題。
顯微鏡聚焦位移臺FTP-2000采用交叉滾筒位移臺,高精度絲桿和零空回微型齒輪直流伺服馬達，運動平穩準確。可采用微處理器控制的位移臺控制器MS-2000,通過RS-232 和USB與主機通信。
圖1：顯微鏡聚焦位移臺實物圖
顯微鏡聚焦位移臺FTP-2000特點
1.XY和Z軸的閉環直流伺服控制用于精準定位和高重復性聚焦；
2.寬的動態速度范圍與操縱桿控制；
3.利用ASI經過驗證的LS 系列線性定位器用于Z軸控制；
4.Z軸離合器，便于手動和電動調焦控制；
5.背光液晶顯示器顯示X、Y和Z坐標；
6.“0”和“Home”按鈕用于簡單的獨立操作；
7.緊湊的符合人體工程學桌面控制尺寸是6”D x 9”W x 3”H (9 x 23 16½ cm)；
8.微處理器控制RS-232系列和USB通信；
9.許多經過驗證操作的軟件包。
圖2：顯微鏡聚焦位移臺安裝示意圖
顯微鏡聚焦位移臺技術參數
| XY軸行程范圍 | 120 mm x 75 mm |
| XY 軸分辨率（編碼器步長） | 22 nm |
| XY軸RMS重復精度 | < 700 nm |
| XY軸速度 | 7 mm /sec |
| Z軸分辨率（編碼器步長） | 50 nm |
| Z軸重復精度 | ± 50 nm |
| Z軸速度 | 1.6 mm /sec |
| 推薦的負荷（可根據要求提供更高的負荷） | 5kg |
| 軸 | 分辨率 | 比例尺精度 |
| XY | 10 nm | ± 3 μm 每尺寸長度 |
| Z (12 mm 到 25 mm 沖程) | 50 nm | 0.025 µm 每毫米 |
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉編碼器分辨率 | 速度 |
| 25.40 mm (Ultra-coarse) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (Super-coarse) | 44 nm | 14 mm/sec |
| 6.35 mm (Standard) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (Fine) | 5.5 nm | 1.75 mm/sec |
| 0.635 mm (Extra-fine) | 2.2 nm | 0.7 mm/sec |
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