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輔光精密儀器(上海)有限公司
這款全自動勻膠機是進口自動勻膠儀器,采用功能強大的旋涂機系統專為所有應用的研究和可變工藝而設計
這款全自動勻膠機是進口自動勻膠儀器,采用功能強大的旋涂機系統專為所有應用的研究和可變工藝而設計。其特點是能夠全自動旋涂操作。
全自動勻膠機POLOS SPIN4000A是一款獨立的全自動旋涂機系統。鋼制外殼保證了無污染的工作區,其組件確保了300x300mm基板的可重復、可編程旋轉過程。
全自動勻膠機特征
自動光刻膠分配,最多3個噴嘴(可選)
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋(可選)
全自動勻膠機規格參數
旋涂轉速:6000rpm
轉速精度:0.1%
旋涂旋轉方向:順時針,逆時針
加速度:<=3000rpm/s
襯底直徑:300mm(圓形)或8'' x 8''(方形)
尺寸:650 (w) x 1200 (h) x 945 (d) mm
重量:350kg
功耗:1KW
真空:-600 mm Hg
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