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深圳維爾克斯光電有限公司
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TMC公司致力于隔震臺的研究和制造。文章主要介紹列TMC公司主動隔震臺的參數、性能、產品優勢和技術描述等。
≥2Hz，≥90%隔振效果！TMC隔振平臺，敏感儀器行業的標準解決方案
公司致力于高水準TMC隔振臺系統的研發和制造，為高精密和高穩定性的科研領域以及工業生產提供所需要的條件。TMC主動隔振系統從簡單的桌面式隔振顯微鏡底座到大尺寸的光學平臺系統均有深入研究。公司憑借具有數字控制器和壓電驅動器的精密的主動和慣性振動消除系統行業。同時也讓TMC公司的主動光學隔震系統成了諸如生命科學、半導體、光子學、電子顯微鏡和計量學等科研領域和工業生產等敏感儀器對應嘈雜環境的標準解決方案，深受歡迎和認可。TMC的產品使用為的垂直集成制造工廠設計和生產，并且承諾為客戶提供的服務。
TMC隔振臺的主要性能體現在于其減震的頻率范圍，以及有效減震百分比。TMC主動隔振系統從0.6Hz開始具備減震效果，并且具有對2Hz以上的有效頻率范圍的震動減震效可達90%的性能。TMC公司的主動光學隔震系統主要采用壓電主動震動消除，對比傳統的空氣隔震，具有更優異的性能。TMC隔震系統的出現，使得許多高精度和穩定性要求的實驗和儀器運用成為可能，同時也促進了主動隔振臺行業的技術革新。TMC隔震臺的“剛性"式慣性消振支撐系統是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環境中以高標準運行。
TMC隔振臺的主要特點：
-始于0.6Hz的隔振
-2Hz開始的主動減振效果可達90%的的隔振效果
-高靈敏度，低頻慣性速度傳感器
-沒有任何空氣隔振系統的局限性
-的串行設計和專有的高力壓電技術
TMC隔振臺的主要應用：
-聚焦離子束隔振
-掃描電子顯微鏡隔振
-超精密儀器和機械設備隔振
-半導體工業隔振
-小型雙光束儀器隔振
-高大工具的建筑地面振動隔離
-半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備的震動隔離
TMC STACIS Ⅲ：
STACIS III是一種靈活的高級主動隔振系統。STACIS采用的慣性振動傳感器、的控制算法和的壓電致動器，通過連續測量地面活動，然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。STACIS III包括一個全新的改進型數字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網以及USB串行端口，為用戶提供了現代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在已擁有數百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統，適用于對振動為敏感的儀器。
| STACIS Ⅲ性能規格 | |
| 主動自由度 | 6 |
| 主動帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz時的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步進輸入后的穩定時間（減少10:1） | 0.3秒 |
| 內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每個隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（182 - 500千克） |
| 中等承重能力：900 - 2100磅（410 - 955千克） | |
| 高承重能力：1900 - 4500磅（864 - 2045千克） | |
| 剛度（1000磅 / 454千克質量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 從距離隔振器大4英寸（102毫米）處發射的磁場 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
STACIS Quiet Island：
半導體制造工廠、納米技術中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統結合在一起，以滿足復雜的設施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動敏感的生產、檢測和計量設備?；顒拥孛鏌o法為這些工具提供必要的安靜振動環境。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動地面區域，提供了一種創新的解決方案。Quiet Island包括一個兼容潔凈室的平臺頂部和一個應用和現場特定的支撐結構。
| STACIS Quiet Island性能規格 | |
| 平臺表面 | 不銹鋼表面頂部和側面； |
| 環氧涂漆鋼底部 | |
| 平臺結構 | 專有的多層層壓鋼板 |
| 尺寸 | 量身定制 |
| 標準高度 | 15、18、20、24、30、36、48英寸 |
| 38、46、51、61、76、91、122厘米 | |
| 還可提供定制高度 | |
| 負載能力 | 量身定制 |
| 剛性立管和支架 | 獲認證的焊接、全鋼結構， |
| 與潔凈室兼容的粉末涂層表面 | |
| 可選附件 | 限制支架、平臺頂部吊環螺栓， |
| 用于格子式底層地面的橋板 | |
| 平臺頂部版本 | 切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔 |
SEM-Base Ⅵ：
SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主動壓電消振產品。SEM-Base VI被設計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。
| SEM-Base Ⅵ性能規格 | |
| 主動自由度 | 6 |
| 主動帶寬 | 0.6 Hz - 100 Hz |
| 被動固有頻率 | 標稱值為12 Hz |
| 有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
| 2 Hz時的隔振 | 90% |
| ≥3 Hz時的隔振 | 90 - 98% |
| 內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 工作負載范圍 | 標準承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
| 高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克） | |
| 4英寸（102毫米）距離平臺的磁場發射 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
TOOL-Base:
TOOL-Base是一種的主動壓電地面減振平臺，用于超精密儀器和機械設備。它適用于比典型的商業掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設備有高度限制。
TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設計成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質量相匹配。
TOOL-Base優勢:
-硬安裝技術：TOOL-Base是帶有內部氣動振動控制系統的理想工具，提供一個穩定和堅硬的平臺，以支持振動敏感的工具。
-主動慣性振動消除 ：TOOL-Base采用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實現高水平的振動衰減，即使在安靜的地面上。
-采用壓電技術的串行設計： 的串行設計和的高功率壓電技術使得0。6Hz開始的有源帶寬很寬，并且在2Hz開始的主動減振90%達到的慣性主動減振效果。
-配置靈活性：TOOL-Base的配置可以調整，以適應刀具的底座和高度要求
SEM-Base LP:
SEM-Base LP是TMC標準SEM-Base有源壓電振動消除平臺的定制低調版本。相比SEM-Base，SEM-Base LP易于安裝，提供出色的性能并經過人體工程學優化。輕巧簡便的改進，并不影響其功能——的STACIS壓電技術，并具有與我們行業標準SEM-Base VI相同的振動消除性能。
| SEM-Base LP性能規格 | |
| 主動自由度 | 6 |
| 主動帶寬 | 0.6 Hz - 100 Hz |
| 被動固有頻率 | 標稱值為12 Hz |
| 有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
| 2 Hz時的隔振 | 90% |
| ≥3 Hz時的隔振 | 90 - 98% |
| 內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 工作負載范圍 | 承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
| 4英寸（102毫米）距離平臺的磁場發射 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
LaserTable-Base:
LaserTable-Base™是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常，光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3 Hz范圍內的振動。
TMC的STACIS通過結合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術（空氣和STACIS）整合到一個集成的消振系統中。由于兩個串聯隔振系統的綜合效應，這實現了低頻率消振和的高頻隔振水平。
LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設計，可互換。它可以結合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架，具體取決于應用要求。
LaserTable-Base 規格：
-采用STACIS®技術
-主動慣性消振系統
-消振從低于1 Hz開始
-加長行程的壓電致動器，高達60微米。
-6個主動自由度
-由兩個串聯隔振系統組成，可實現佳隔振效果
-采用MaxDamp®空氣隔振器
-簡單、堅固且經濟高效
-可選的擱板，用于在工作臺下方安裝設備
-包括TMC的DC-2020數字控制器
Stage-Base:
TMC繼續在技術的基礎上開發新的解決方案，以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主要消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非?？焖俚胤€定，以限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩定時間，進一步提高吞吐量，從而為移動平臺應用提供的主動振動和運動消除系統。
Stage-Base 450 規格：
-采用的STACIS®技術
-采用高力、加長行程的壓電致動器
-有效載荷的位置可重復性在微米以內
-框架安裝設計
-6個主動自由度
-可選的VCM前饋和/或反饋
-始于0.6 Hz的主動隔振
-響應平臺運動的快速穩定時間
-無軟空氣懸架
-通過USB 2.0實現基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數字控制器
-簡單、堅固且經濟高效
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