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深圳維爾克斯光電有限公司
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EK-MR，MTM-MR及MT-MR系列搭載SCD數字讀取單元，方便用戶讀取記錄數據。德國Marzhauser Wetzlar為用戶提供手動測量載物臺，適用于透射光/反射光應用及硬度測試，其中MT系列搭載千分尺，多種行程供用戶選擇，允許用戶通過裝配適配器及樣品架搭載晶圓進行測試。
EK系列，應用于反射/透射光應用的手動測量載物臺
德國Marzhauser Wetzlar 為用戶提供不同規格的手動測量載物臺供用戶選擇，其中MT系列平臺，普遍在透射光應用，反射光應用還有硬度測試上，規格包括25 x 25 mm (1" x 1")和50 x 50 mm (2" x 2")兩種行程，底板上有四個孔位（M5，90 × 90 mm），其他孔樣式或特殊適配器可根據具體要求提供，可集成在不同顯微鏡上，的千分尺設計，為用戶實現準確測量提供了基礎。
EK-MR系列僅包含EK 75 ×50 MR一種規格，該系列時MTM-MR系列測量階段的有利替代方案，測量長度可達值，該平臺搭載德國Marzhauser Wetzlar所開發的磁流變測量系統，以此確保高精度測量，在連接SCD顯示裝置后可實時讀取位置信息。MT-MR系列測量平臺無固定搭配顯微鏡型號，可用于透射光/反射光應用，作為綜合測量系統為用戶提供選擇，該系統允許搭載SCD數字讀取單元。
MTM系列特別適用于正置顯微鏡，當測量長度大于100 mm時，可使用具有的調節旋鈕進行粗調或精調操作，用時可以搭配SCD同時使用，用戶可以在SCD顯示屏上讀取位置數據，該系列行程范圍包括105 × 105 mm至300 × 300 mm多種選擇，其中MTM 105 x 105 MR適用于大部分顯微鏡型號，包括Leica、Zeiss、Nikon、Olympus品牌，而大行程規格多適用于Olympus立式顯微鏡。
EK-MR系列手動測量載物臺（可配置SCD）
| 描述 | EK 75 × 50 MR |
| 訂購型號 | 00-22-321-0000 |
| 行程范圍 | 75 × 50 mm |
| 準確性 | ±5 μm |
| 分辨率 | ＜ 0.05 μm |
| 驅動 | X軸：繩索驅動 Y軸：齒條–小齒輪 |
| 重量 | 1.7 kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| DM1000 | Diaphot 200 / 300 | BX40 | Axio Imager |
| DM2000 | E800 | BX41 | Axio Scope.A1 |
| DM2500 | Eclipse 50i | BX41M | Axiophot 1 |
| DM2500 M | Eclipse 55i | BX50 | Axioplan |
| DM2500 P | Eclipse 80i | BX51 | Axioplan 2 |
| DMLA | Eclipse E200 | BX51M | Axioskop |
| DMLB | Eclipse E400 | BX60 | Axioskop 2 MAT |
| DMLM | Eclipse E600 | BX61 | Axioskop 2 MOT |
| DMLS | Eclipse LV100D/LV100DA | BX61 M | Axioskop 20 |
| DMR... | Eclipse LV150, LV150A |
| Axioskop 40 |
| DMRB | ME600 |
| Axiotech 100 |
| DM4 B |
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| Axiotech vario |
| DM4 M |
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| Axiotron |
| DM4 P |
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| Axiotron 2 |
| DM6 M |
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| DM6 B |
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MTM-MR系列手動測量載物臺（可配置SCD）
| 描述 | MTM 105 × 105 MR |
| 訂購型號 | 00-31-416-0000 |
| 行程范圍 | 反射光：105 × 105 mm 透射光：105 × 85 mm |
| 準確性 | ±1 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驅動 | 齒條–小齒輪 |
| 載重 | 2.5 kg |
| 重量 | ~ 4.0 kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| DM1000 | Diaphot 200 / 300 | BX40 | Axio Imager |
| DM2000 | E800 | BX41 | Axioplan |
| DM2500 | Eclipse 50i | BX41M | Axioplan 2 |
| DM2500 M | Eclipse 55i | BX50 | Axioskop |
| DM2500 P | Eclipse 80i | BX51 | Axioskop 2 MAT |
| DMLA | Eclipse E200 | BX51M | Axioskop 2 MOT |
| DMLB | Eclipse E400 | BX60 | Axioskop 20 |
| DMLM | Eclipse E600 | BX61 | Axioskop 40 |
| DMLS | Eclipse LV100D/LV100DA | BX61 M | Axiotech 100 |
| DMR... | Eclipse LV150, LV150A | SZX10 | Stemi 2000 / 2000C |
| DMRB | SMZ1000 | SZX12 |
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| DM4 B | SMZ1500 | SZX16 |
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| DM4 M | SMZ800 | SZX7 |
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| DM4 P |
| SZX9 |
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| DM6 M |
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| DM6 B |
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| MS5 |
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| MZ12.5 |
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| MZ16/MZ16A |
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| MZ7.5 |
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| MZ9.5 |
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MTM-MR系列手動測量載物臺（可配置SCD）
| 描述 | MTM 150 × 150 MR | |
| 訂購型號 | 00-31-607-0000 | 31-31-607-0000 |
| 行程范圍 | 150 × 150 mm (6" × 6") | 150 × 150 mm (6" × 6") |
| 準確性 | ±1 μm | ±1 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm | 0.05 μm |
| 驅動 | 同軸驅動，齒條–小齒輪 | 同軸驅動，齒條–小齒輪 |
| 載重 | 3.0 kg | 3.0 kg |
| 重量 | 4.8 kg | 4.8 kg |
| 適用顯微鏡型號 | Olympus MX40 Olympus MX50 Olympus MX50L Olympus MX51 Olympus MX51L Olympus MX61 Olympus MX61L | Leica DM4000 M Leica DM6000 M |
MTM-MR系列手動測量載物臺（可配置SCD）
| 描述 | MTM 200 x 200 MR |
| 訂購型號 | 00-31-807-0000 |
| 行程范圍 | 200 × 200 mm (8" × 8") |
| 準確性 | ±1 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驅動 | 同軸驅動，齒條–小齒輪 |
| 載重 | 3.0 kg |
| 重量 | 7.8 kg |
| 適用顯微鏡型號 | Olympus MX50 Olympus MX50L Olympus MX51L Olympus MX61 Olympus MX61L Olympus MX80 |
MTM-MR系列手動測量載物臺（可配置SCD）
| 描述 | MTM 200 x 200 MR |
| 訂購型號 | 00-31-012-0000 |
| 行程范圍 | 300 × 300 mm (12“ × 12“) |
| 準確性 | ±5 μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驅動 | 同軸驅動，齒條–小齒輪 |
| 載重 | 5.0 kg |
| 重量 | 18.6 kg |
| 適用顯微鏡型號 | Olympus MX50L Olympus MX51L Olympus MX61L Olympus MX80 |
MT-MR系列手動測量平臺（可配置SCD）
| 描述 | MT 200 x 100 MR |
| 訂購型號 | 00-31-104-0000 |
| 測量范圍 | 200 x 100 mm |
| 準確性 | ± 1 μm |
| 分辨率 | 0.1 μm |
| 驅動 | 手動調節 |
| 載重 | 5 kg |
| 重量 | 11.8 kg |
MT系列手動測量載物臺（千分尺）
| 描述 | MT 25 x 25 | |
| 訂購型號 | 00-30-101-0000 00-30-221-0000 | 00-30-223-0000 |
| 測量范圍 | 25 x 25 mm (1" x 1") | 25 x 25 mm (1" x 1") |
| 分辨率 | 由千分尺決定 | 由千分尺決定 |
| 千分尺安裝座 | ?12 mm（其他?要求） | ?12 mm（其他?要求） |
| 重量 | 1.25 kg | 1.25 kg |
| 承重 | 10 kg | 50kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| MS5 | SMZ1000 | SZX10 | Stemi 2000 / 2000C |
| MZ12.5 | SMZ1500 | SZX12 |
|
| MZ16/MZ16A | SMZ800 | SZX16 |
|
| MZ7.5 |
| SZX7 |
|
| MZ9.5 |
| SZX9 |
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MT系列手動測量載物臺 （千分尺）
| 描述 | MT 50 x 50 | |
| 訂購型號 | 00-30-102-0000 00-30-222-0000 | 00-30-224-0000 |
| 測量范圍 | 50 x 50 mm (2" x 2") | 50 x 50 mm (2" x 2") |
| 分辨率 | 由千分尺決定 | 由千分尺決定 |
| 千分尺安裝座 | ?12 mm（其他?要求） | ?12 mm（其他?要求） |
| 重量 | 1.25 kg | 1.25 kg |
| 承重 | 10 kg | 50kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| MS5 | SMZ1000 | SZX10 | Stemi 2000 / 2000C |
| MZ12.5 | SMZ1500 | SZX12 |
|
| MZ16/MZ16A | SMZ800 | SZX16 |
|
| MZ7.5 |
| SZX7 |
|
| MZ9.5 |
| SZX9 |
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千分尺規格
| 范圍 | 滾輪直徑 | 分辨率 | 訂購型號 |
| 25 mm (analog) | 20mm | 10μm | 00-30-000-6801 |
| 25 mm (analog) | 30 mm | 5 μm | 00-30-000-6802 |
| 50 mm (analog) | 20 mm | 10 μm | 00-30-000-6804 |
| 50 mm (analog) | 30 mm | 5 μm | 00-30-000-6805 |
| 25 mm (digital) |
| 1 μm | 00-30-000-6811 |
| 50 mm (digital) |
| 1 μm | 00-99-900-1898* *mounting shaft: 18 mm |
MT-MR系列手動測量載物臺（可配置SCD）
| 描述 | MT 50 x 50 MR |
| 訂購型號 | 00-30-119-0000 |
| 測量范圍 | 50 x 50 mm (2" x 2") |
| 準確性 | （測量長度/40+2.5）μm |
| 分辨率 | 0.05 μm |
| 驅動 | 手動調節 |
| 載重 | 1.4 kg |
| 重量 | 5 kg |
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