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深圳維爾克斯光電有限公司
Queenstage為用戶提供壓電聚焦器件NanoScan OP400,通過NPC-D-6110單軸控制器實現納米精度的Z軸定位以及掃描功能,為用戶升級顯微鏡系統控制提供了基礎硬件設施,適配多種物鏡尺寸,NanoScan電動納米Z軸在150g負載下可實現0.7 nm精度定位。
壓電聚焦器件NanoScan OP400,400μm閉環,0.7nm定位精度
PRIOR為用戶提供的納米物鏡自動聚焦臺NanoScan OP400,為用戶實現物鏡的納米壓電Z軸定位提供了硬件基礎,該設備適配多種顯微鏡型號及物鏡規格,通過NPC-D-6110單軸控制器實現操控,且允許用戶二次開發。NanoScan OP400可在150g負載下,在10ms內完成小于500nm步進的位移量,快速的穩定時間可以極大的減少在用戶的實驗過程中所產生的漂移量,即便是更大的負載,該系統仍可以保持較高的穩定時間。且壓電聚焦器件NanoScan OP400適用于正置或倒置顯微鏡,更適配用戶的使用需求。
壓電聚焦器件NanoScan OP400系統具備更快的的步進及穩定時間。該系統搭載的機械設計結構并集成電容式反饋傳感器,這使得壓電聚焦OP400系統具備精確的定位精度以及分辨率。該系統與大多數顯微鏡和物鏡相兼容,具有用戶可配置的設置,可針對不同的物鏡尺寸,重量和性能需求進行優化。通過不同的轉接環,使壓電聚焦器件NanoScan OP400可以安全可靠的搭載顯微物鏡。
NanoScan電動納米Z軸規格:
參數 | 規格 |
材質 | 不銹鋼 |
閉環行程 | 400 μm |
分辨率 | 150g負載下0.7 nm |
線性度 | 0.005 % |
重復性 | 1.6 nm 低PID,50 μm,1 SD |
物鏡負載 | 800 g |
負載諧振頻率 | 150g負載下180Hz |
5%穩定0.5 μm步進 150g/250g/500g 負載 | 7 ms/10 ms/18 ms |
5%(500 nm)穩定100 μm步進 180g/250g/500g 負載 | 30 ms / 35 ms / 45 ms |
電纜長度 | 2 m |
物鏡間隙 | 40 mm |
光路長度拓展 | 13 mm 12mm with M32 |
NPC-D-6110控制器規格:
參數 | 規格 |
機控 | |
NPC-D-6110控制器尺寸 | 318 mm × 240 mm × 90 mm |
控制器重量 | 3.0 kg |
制冷 | 對流冷卻-溫度控制風機 |
電控 | |
能量輸入 | 100-240 VAC 標準 47-63Hz |
連接 | |
USB-Type B 連接器 | 2.0兼容 |
模擬輸入指令 | BNC-0-10 V(± 10V max) |
模擬位置監視器輸出 | BNC-0-10 V(± 10V max) |
“TRIG" input / “TRIG output “IN-POS" output and Quadrature interface | 25 pin D-type socket - 5V TTL |
控制器同步信號 | 9 pin D-type 插座 |
運行環境 | |
溫度 | 10-40 ℃ |
相對濕度 | 5-80 %相對濕度 |
壓電聚焦OP400系統訂購信息
訂購編碼 | 描述 |
QGOP-400-UP-D1 | System incorporating NanoScan OP400 (0-500g load) for upright microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller |
QGOP-400-UP-HL-D1 | System incorporating NanoScan OP400 (500-1000g load) for upright microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller |
QGOP-400-INV-D1 | System incorporating NanoScan OP400 (0-500g load) for inverted microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller |
QGOP-400-INV-HL-D1 | System incorporating NanoScan OP400 (500-1000g load) for inverted microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller |
壓電聚焦OP400特點:
-400μm閉環行程范圍(450μm開環范圍)
-電容定位傳感器提供亞納米定位分辨率和重復性
-不銹鋼材料,提供更大的機械剛度(更快的速度)和溫度穩定性(更低的漂移)
-平臺是彎曲導向系統。無摩擦撓曲件設計用于提供高剛度并地減少離軸運動,從而提供高可重復性和更快的循環時間。
-適用于立式和倒立應用。
-具有內置平臺校準的連接器提供即插即用的電子設備,可以互換使用,從而地減少了系統停機時間。
-即使在較大的目標負載下,也可以快速建立時間。
-經過測試,可以運行超過1000萬個完整范圍的周期。
NanoScan電動納米Z軸應用:
-光學切片可產生3D圖像
-自動對焦系統,用于延時成像
-高內涵篩選
-表面分析
-晶圓檢查
-掃描干涉儀
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