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深圳維爾克斯光電有限公司
基于Phasics的SID4四波橫向剪切干涉技術所開發的技術,高分辨率波前傳感器SID4-UV可覆蓋190-400 nm紫外檢測波段,在紫外線光譜中提供了的高分辨率(355x280測量點)和非常高的靈敏度(1 nm RMS)。為波前像差、波前畸變的檢測以及激光光束及波前探測、分析提供了全新方案。
190-400nm紫外相應高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀
基于的技術,法國Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點,即插即用的適用類型適用于大多數用戶的應用環境。法國Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測波前分析儀,SID4-UV和SID4-UV-HR。
相比之下,SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜,250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求,相比于SID4-UV-HR更具備成本效益,在滿足用戶使用需求的前提下有效的節約用戶成本。
其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強款,該設備在190-400 nm的紫外波段有著的相位分辨率(355×280取樣分辨率)、的相位靈敏度(優于1 nm RMS)以及更大的靶面面積(13.8 x 10.88 mm2)。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導體等領域,尤其適用于透鏡或晶圓等的光學組件表征以及波前像差,波前曲線的波前探測需求。
高分辨率波前傳感器應用領域:
-天文觀測
-航空航天工業
-半導體加工
-工業激光
-光學元件及組裝
-增強現實-虛擬現實
SID4-UV高分辨率波前傳感器產品規格:
型號 | SID4-UV |
波長范圍 | 250 - 400 nm |
靶面尺寸 | 7.4 x 7.4 mm2 |
空間分辨率 | 29.6 µm |
取樣分辨率 | 250 x 250 |
相位分辨率 | 2 nm RMS |
精度 | 10 nm RMS |
取樣速度 | 30 fps |
實時處理速度* | > 2 fps (全分辨率下)* |
接口種類 | 以太網口 |
尺寸(寬x高x長) | 78 x 88.1 x 71.1 mm3 |
重量 | 約575g |
*使用電腦搭載SID4軟件環境下
高分辨率波前傳感器主要特點:
-190-400 nm紫外波段響應
-1 nm RMS高相位靈敏度
-355 × 280超高相位取樣分辨率
紫外波前分析儀主要特點:
-250 - 400 nm紫外波段響應
-2 nm RMS高相位靈敏度
-250 × 250超高相位取樣分辨率
高分辨率波前傳感器產品應用:
-激光檢測
-自適應光學檢測
-等離子體檢測
-光學元件及光學系統計量
SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產品規格:
型號 | SID4-UV-HR |
波長范圍 | 190 - 400 nm |
靶面尺寸 | 13.8 x 10.88 mm2 |
空間分辨率 | 38.88 µm |
取樣分辨率 | 355 x 280 |
相位分辨率 | 1 nm RMS |
精度 | 10 nm RMS |
取樣速度 | 30 fps |
實時處理速度* | > 3 fps (全分辨率下)* |
接口種類 | CameraLink |
尺寸(寬x高x長) | 51 x 51.1 x 76 mm3 |
重量 | 約300g |
*使用電腦搭載SID4軟件環境下
高分辨率波前傳感器產品應用:
-激光檢測
-自適應光學檢測
-等離子體檢測
-光學元件及光學系統計量
-波前曲線檢測
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