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深圳維爾克斯光電有限公司
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Sigma反射鏡TFHSM系列提供532nm和1064nm兩種波長，超級反射鏡(Supermirrors)為提高法布里－珀涉儀的性能而開發，用（光）高精度檢測距離或時間時，常用的是法布里－珀涉儀（Fabry-Perot interferometer）。
OptoSigma超級反射鏡，532nm和1064nm，反射率>99.999%
超反射鏡OptoSigma的規格參數表：
| 規格 | 波長 | 外徑尺寸 | 厚度 | 反射率*1 | Loss損失*2 |
| TFHSM-12.7C06-532 | 532nm | f12.7mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-25C06-532 | 532nm | f25mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-25.4C06-532 | 532nm | f25.4mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-30C06-532 | 532nm | f30mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-50C08-532 | 532nm | f50mm | 8mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-12.7C06-1064 | 1064nm | f12.7mm | 6mm | ＞99.999% | 8ppm |
| TFHSM-25C06-1064 | 1064nm | f25mm | 6mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
| TFHSM-25.4C06-1064 | 1064nm | f25.4mm | 6mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
| TFHSM-30C06-1064 | 1064nm | f30mm | 6mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
| TFHSM-50C08-1064 | 1064nm | f50mm | 8mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
*1以上反射率是使用CRD(Cavity Ring-Down)測量的，如果測量條件和測量方法不同，反射率可能會有差異。
*2 "Loss損失"中的數值僅為參考數據，產品出貨時不附帶此參數的實測數據。
西格瑪光機的超級反射鏡（Super Mirror）是一組反射率的反射鏡，這些超高反射率反射鏡非常適合需要高精細度和窄光譜帶寬的法布里－珀涉儀。法布里－珀涉儀（Fabry-Perot interferometer）通常用于利用光測量精度的時間或距離，OptoSigma超級反射鏡是高性能反射鏡，可提供接近99%的反射率，從而限度地提高諧振器的性能。
OptoSigma反射鏡采用高度專業化的拋光技術，在表面粗糙度Ra<0.1nm的基板上實現了低散射，另外，還采用了離子束濺射(IBS)光學鍍膜工藝，使得鍍膜涂層細密而無缺陷。OptoSigma超級反射鏡的標準產品提供532nm和1064nm兩種波長供選擇，其中反射率1064nm(R>99.999%)和532nm(R>99.9995%)。
OptoSigma還可根據用戶要求定制波長和尺寸，當定制凹面基底上的超級鏡面涂層時，請注明曲率半徑。如需了解在線或產品目錄中未列出的不同波長、尺寸和入射角度的產品，請聯系我們。
圖1：超級反射鏡（Supermirrors）圖示
OptoSigma超級反射鏡的主要特點：
- 采用離子束濺射(IBS)鍍膜工藝，鍍膜涂層質量高且細密，缺陷少。
- 通過特殊的高精密拋光技術，使得在表面粗糙度Ra<0.1nm的基板上實現低散射。
- 反射率高達99.999%的鏡面涂層是通過多年開發的涂層設計技術實現的。
- 由于基底和涂層造成的散射損耗非常小，因此將其放入法布里－珀羅腔中時，可以實現高精細度和非常窄的光譜帶寬。
- 提供532nm和1064nm兩種波長。
| 共同參數 | |
| 材質 | 合成熔融石英 |
| 鍍膜 | 正面：電介質高反射多層膜 反面：電介質防反射多層膜 |
| 入射角 | 0° |
| 表面精度 | λ/10 |
| 平行度 | ＜5″ |
| 表面質量 | 10-5 |
| 有效直徑 | 外徑的80% |
| 反面反射率 | <0.15% |
| 形狀 | 平面基板Optical Flat |
OptoSigma超級反射鏡的注意事項：
- 作為單面鏡使用時，由于反射率較高，幾乎沒有透過光。如果想要利用透射光的話，請將其裝配到建高精度的法布里－珀羅腔使用。
- 由于污垢、灰塵和氣體污染等會對測量值產生影響，因此，建議在清潔的環境中測量或處理此反射鏡。
- 如果法布里－珀羅腔由兩個平面鏡組成，輸出光可能會變得不穩定。為了實現穩定的腔體，請將一側或兩側的反射鏡改成凹面鏡，并構建一個腔體。
- 西格瑪光機反射鏡的生產和測試周期比較長，因此交貨期要比在線和產品目錄中的標準產品更長，詳情請事先咨詢。
超反射鏡OptoSigma的外形圖和功能說明圖：
圖2：左圖：外形圖，右圖：功能說明圖
超反射鏡的反射率曲線圖：
圖3：TFHSM系列反射率曲線圖
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