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深圳維爾克斯光電有限公司
Minus K地板式隔震平臺又可叫SEM/TEM/STEM隔震平臺(英文名是Floor Platform,簡稱FP-1隔震臺),主要應用于隔離SEM,TEM和STEM的低頻振動,掃描電鏡,投射電鏡等。
地板式隔振平臺FP-1,用于隔離SEM,TEM和STEM低頻振動
Minus K地板式隔震平臺帶隔振效果:
對于SEM和一些TEM來說,只有列控制臺是隔振的。在一些情況下,列、顯示器和其他部件在平臺上是隔振的。所有外部線路、軟管和電纜與被隔振的有效載荷斷開,并且在內部隔振臺被鎖定的情況下,系統可以達到0.5Hz或更低的垂直和水平的自然頻率。(對于大多數顯微鏡,外部線路、軟管和電纜對隔振系統性能的影響相對較小)
當連接上Minus K隔振臺時,以下兩張圖像有著明顯的抖動差異,帶Minus K隔振臺的圖像明顯的更加的清晰明了。
無Minus K隔振的圖像 帶Minus K隔振的圖像
地板式隔振平臺主要特點:
- 由兩個或三個SM-1負剛度隔振臺組成
- 用于隔離SEM,TEM和STEM的低頻振動的地面平臺
- 可以支撐高達10,000磅的重物
- 定制隔振臺
地板式隔振平臺主要應用:
- 掃描電鏡
- 透射電鏡、
- STEM
- 隔離SEM和TEM的低頻振動
- 其他大型計量或制造工具
地板式隔振平臺組成部分SM-1規格參數:
規格參數 | |
重量:約155磅(70.3kg) | |
尺寸:13英寸寬x13英寸深x20.5英寸高,(330mm寬x330mm深x521mm高) | |
負載能力(近似值) | |
型號 | 重量 |
700SM-1 | 110-750 lb (50-340kg) |
1200SM-1 | 675-1330 lb (315-603kg) |
1500SM-1 | 800-1550 lb (363-703kg) |
1900SM-1 | 1200-1950 lb (544-885kg) |
2400SM-1 | 1800-2500 lb (817-1134kg) |
2900SM-1 | 2400-3000 lb (1089-1361kg) |
3400SM-1 | 2800-3600 lb (1270-1633kg) |
4000SM-1 | 3400-4200 lb (1542-1905kg) |
性能 | |
- 在整個負載范圍內可以實現 1/2 Hz 或更低的垂直固有頻率。 - 水平固有頻率取決于負載。在額定負載或接近額定負載時可達到 1/2 Hz 或更低。 |
FP-1地板式隔震臺組成部分SM-1隔震臺典型性能曲線:
下面的曲線顯示了SM-1的0.5Hz性能:
地板式隔振平臺(英文名:Floor Platform,型號:FP-1)是由兩個或三個SM-1負剛度隔振臺和一個大型平臺等組成的,隔振平臺的支腿可以將平臺連接到隔振臺上,隔振臺地板和千斤頂螺釘板能夠分散地板負載和壓載配重。因此,FP-1隔振臺能夠支撐高達10,000磅的重物。地板式FP-1隔振臺主要用于隔離SEM,TEM和STEM的低頻振動的地面平臺,因此可稱為SEM/TEM/STEM隔震平臺。
Minus K地板式隔震平臺FP-1是一塊重型鋼板,重量幾乎與顯微鏡本身一樣重。對于這種設計的原因之一是:為了降低整個系統的重心到隔振臺傾斜機構的水平,以避免水平或傾斜耦合。當水平振動時,引起列的水平和傾斜響應;當系統CG處于隔振臺傾斜機構的水平時,振動解耦,更好的隔振控制就可以實現了。另一個原因是:FP-1隔震臺系統總質量大,有助于減少來自連接到顯微鏡的剛性電纜和軟管的影響。
SM-1負剛度隔振臺FP-1地板式隔震臺的重要組成部件和其他重型隔振臺系統的基本構件。SM-1隔震臺適用于500至4200磅的重量負載和1/2 Hz垂直和水平性能。Minus K隔振臺不需要空氣或電力,這種隔振臺與被動、負剛度、手動可調臺式隔振臺具有相同的基本特征,可以為數千磅的有效載荷提供極低的頻率隔振性能。SM-1隔振臺可以單獨使用,也可以與任何數量的附加裝置一起使用,實現更高容量的系統,還可以放置在基座上,以增加隔振系統的高度。
所有FP-1系統都是為特定應用定制和設計的。如果用戶喜歡自己制作平臺,可以購買所需的Minus K產品所設計的地板式隔振平臺FP-1的方案,并在當地制作平臺,以節省制造成本和運輸成本。
LEO 1550 SEM在雙隔振臺平臺上 日立S-4800掃描電鏡安裝在三隔振臺上 JEOL JEM 1400 TEM的水平FP-1
另外,通過TEM在Minus K的FP-1曲線對比圖可知,當JEOL JEM-1400 TEM在Minus K的FP-1規格范圍內,振動加速度值和峰峰值曲線都有波動,振動中的沖擊力變得更小。
JEOL JEM-1400 TEM超出Minus K的FP-1的規格范圍 JEOL JEM-1400 TEM在Minus K的FP-1規格范圍內
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