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深圳維爾克斯光電有限公司
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該納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內置電容式定位傳感器可實現超高速性能和低納米級重復性。此壓電納米定位臺樣品架和載物臺可以定制，以適應從顯微鏡到硬盤測試和半導體檢測的廣泛應用。
SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺，長行程，高精度，壓電納米定位
英國Prior·queenstage 推出的壓電納米定位平臺：SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺，該納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內置電容式定位傳感器可實現超高速性能和低納米級重復性。此壓電納米定位臺樣品架和載物臺可以定制，以適應從顯微鏡到硬盤測試和半導體檢測的廣泛應用。閉環行程500um。SP-Mini-500壓電納米定位臺，占地面積小，是理想的易于集成在儀器或測試設備中的緊湊型納米壓電定位臺。該Prior·queenstage的納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內置電容式定位傳感器可實現超高速性能和低納米級重復性。
SP-Mini-500壓電納米定位臺主要應用：
-高精度顯微鏡：共聚焦和光片等
-硬盤檢測
-半導體檢測和制造
-配合科學和醫療研究設備使用
-鏡片定位
-納米壓電位移和納米樣品定位等
SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺的平臺在整個500微米的行程范圍內保持非常穩定的狀態。這使得樣品架可以偏移放置。此電動Z軸在保持高性能定位的同時提高了對檢測設備對于樣品的定位能力。此Prior?queenstage的壓電納米定位臺的樣品架和載物臺可以定制，以適應從顯微鏡到硬盤測試和半導體檢測的廣泛應用。
SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺
緊湊型納米壓電定位臺SP-Mini-500的主要特點：
-＞500 um行程，納米級分辨率
-非常低的旋轉誤差：0.0025°
-電容式定位傳感器，提供較高位置精確度和準確度。2 nm分辨率和5 nm重復度
-線性誤差一般為＜0.002%
-動態性能：空載諧振頻率一般為210 Hz，同服環路帶寬可達55 HZ
-原位掃描和步進響應優化
-即插即用：載物臺連接器包含載物臺校準數據和參考傳感器，便于控制器互換
-壓電納米定位
壓電納米定位臺SP-Mini-500的技術規格
| 技術規格 | 參數 | 單位 | ||
| 材質 | 鋁和不銹鋼 | | ||
| 尺寸 | 36.5 x 60 x 24.5 10 15x15mm | mm | ||
| | 最小 | 常規 |
| |
| 開環行程 | 550 | 650 | | um |
| 閉環行程 | | 500 | | um |
| 靜態剛度 | | 0.135 | | Num-1 |
| 諧振頻率：0 g負載 | | 210 | | Hz |
| 諧振頻率：20g負載 | | 195 | | Hz |
| 諧振頻率：負載 | | | 1 | Kg |
| 動力參數 | 慢速 | 中速 | 快速 | |
| 3 dB帶寬 | | | 55 | Hz |
| 小信號穩定時間 | | | 10 | ms |
| 位置噪音/分辨率 | 2 | | 5 | nmrms |
| 重復性（半程） | 5 | | | nm |
| 誤差 | 最小 | 常規 |
| 單位 |
| 線性誤差（峰值） | | 0.02 | | % |
| 旋轉誤差（roll） | | 0.0025 | | deg |
| 旋轉誤差（pitch） | | 0.0025 | | deg |
| 旋轉誤差（yaw） | | 0.005 | | deg |
Prior電動Z軸SP-Mini-500壓電納米位移臺的可選配件：
-35 mm培養皿插件
-單波片夾具
納米壓電位移臺SP-Mini-500需要配合英國Prior·queenstage專門為壓電納米定位設備研發的NPC-D-6110控制器。其強大的數字控制器可以的速度驅動納米壓電位移臺SP-Mini-500。
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