艾里卡特Alicat BASIS系列OEM氣體質量流量控制器
OEM應用中的基礎流量控制
對于大數額訂單，BASIS系列OEM氣體質量流量控制器，能為用戶提供可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為原始設備制造商（OEM）無應力設備集成而設計的BASIS輕便靈巧、內置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。
可靠。BASIS系列OEM氣體質量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復性使其在工作第700天時仍像天一樣。
靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。BASIS系列OEM氣體質量流量控制器具有的控制速度和閥門調節，能帶給用戶的益處將遠遠超出預期。
兼容。BASIS系列OEM氣體質量流量控制器應用范圍相當廣，輕便靈巧、多氣體標定、模擬及數字雙重通訊將為您的項目設計提供更大的靈活性。
艾里卡特Alicat提供*的質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿量程）
可重復性：0.5%滿量程
標準控制器響應時間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）
預熱時間：70ms，達到完整精度
工作條件
兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
內部壓力（靜態）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
包裝清單
BASIS系列OEM氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
通訊線纜
Flow Vision軟件
