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江蘇弗里森流體工程技術有限公司
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住友臭氧發生器儀器住友的臭氧發生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧發生器儀器
住友臭氧發生器儀器 住友臭氧發生器儀器 應用： 1. 半導體器件 2. Si/復合晶圓 3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED） 4. 光罩 5. 發光二極管 具體規格 臭氧氣體流速 1L/min to 24L/min 臭氧氣體供應壓力 *大0.15MPa 冷卻水溫度 20°C±2°C 尺寸 W483mm x D453mm x H266mm 重量 30 to 45kg 功率 200-220VAC, 3-phase
住友的臭氧發生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
[at 210g/m3(N)]
住友臭氧發生器儀器優勢：
高濃度；高達400g/m3（N），不含氮摻雜
19英寸機架尺寸標準型號
豐富的產品線；小容量到大容量
高壓耐受，長壽命放電單元
快速啟動，快速響應
與臭氧監測儀（閉環控制）集成的穩定濃度
CE、NRTL、半標準適用
管道材料；從316LSS或P中選擇
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