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深圳市萬德泉科技有限公司
Transpector MPS 殘余氣體分析儀Transpector MPS 殘余氣體分析儀氣體分析標準為一般真空應用帶來性能和非凡價值隨著制造技術的進步和質量標準的變更,了解相關過程和保持產品質量比以往任何時候都顯得更為重要。Transpector MPS 能夠通過過程條件監控、污染檢測和泄露檢查,幫助您優化過程。Transpector MPS 為客戶提供了 Transpector 品......
氣體分析標準
為一般真空應用帶來性能和非凡價值
隨著制造技術的進步和質量標準的變更,了解相關過程和保持產品質量比以往任何時候都顯得更為重要。Transpector
MPS 能夠通過過程條件監控、污染檢測和泄露檢查,幫助您優化過程。Transpector MPS 為客戶提供了 Transpector 品牌可靠的、價值非凡的
RGA 性能。
Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型號,使您能夠靈活地執行一般泄露檢測、真空診斷和碳氫化合物分析等各種功能。此多功能性使 Transpector MPS
成為真空爐、熱處理和真空涂層應用的理想選擇。
類型 | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | |
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傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
質量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | |
檢測器類型 | FC | EM | FC | EM | |
靈敏度 (FC) | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | |
靈敏度 (EM) | NA | 500 amps/Torr | NA | 500 amps/Torr | |
最小可檢測分壓 | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | |
傳感器工作溫度(FC) | 200 °C | NA | 200 °C | NA | |
傳感器工作溫度(EM) | NA | 150 °C | NA | 150 °C | |
絲極類型選件 | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | |
分辨率 (1) | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | |
溫度系數 (2) | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | |
每點數據率 | 3 ms | 3 ms | 3 ms | 3 ms | |
零沖擊(位于質量 2) | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
烘烤溫度 | 300 °C | 300 °C | 300 °C | 300 °C | |
功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC |
(1) 位于峰值高度的 10%
(2) 時長 8 小時,半小時預熱時間;僅適用于 FC 模式
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