Cube 電容式膜片真空計

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更新時間：2022-12-11 17:03:45瀏覽次數：284次

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產品簡介

Cube 電容式膜片真空計Cube™ CDGsci INFICON Cube 電容式膜片儀器是確的（≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50 ppm FS 再現性) 和的真空計 (是設計作為純參考設備用于標準化真空測量系統, 它是真空科研應用的選擇. 經過驗證的 INFICON 溫度控制的, 抗腐蝕超純陶瓷傳感器是 Cube出色性能的核心. Cube 通過無線或有線以太網......

詳細介紹

Cube™ CDGsci

INFICON Cube 電容式膜片儀器是確的（≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50
ppm FS 再現性) 和的真空計 (< 5 ppm FS/°C 溫度穩定性; < 70 ppm FS/長期穩定性). Cube
是設計作為純參考設備用于標準化真空測量系統, 它是真空科研應用的選擇. 經過驗證的 INFICON 溫度控制的, 抗腐蝕超純陶瓷傳感器是
Cube出色性能的核心. Cube 通過無線或有線以太網接口連接的 20 比特模擬輸出和 RS232-C, TCP / IP 和 HTML
數字輸出的方式為現代通訊和用戶靈活性設定新的標準.
每臺設備都有由主要產品研究員簽字的質保書。存放在一個可重復使用的有堅硬外殼的手提箱交付使用或運到校準實驗室以強調其專業性。

益處

可靠的高精確壓強測量 –陶瓷技術
完整的穩定輸出 –由 PTB 驗證
靈活的通訊 –各種現代化的接口
所有功能集成化– 無需控制器
直接裝入真空室 –化的重心
運輸無需隔離閥

典型應用

傳遞標準
主要校準儀
研究
內部標準

零件號

規格

類型		1000 Torr	100 ... 1 Torr	100mTorr
精度 (1)	% of reading	0.025	0.025	0.05
溫度效應
零點	percent FS/°C	0.0005	0.0005	0.005
滿量程	% of reading / °C	0.001	0.001	0.01
壓力，	bar (absolute)	3	2.5	1.5
讀數	percent FS	0.01	0.01	0.01
建議的讀數	percent FS	0.05	0.05	0.05
溫度
運行（環境）	°C	+10 … +40	+10 … +40	+10 … +40
貯存	°C	–10 … +50	–10 … +50	–10 … +50
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時	W	≤15	≤15	≤12
運行溫度	W	≤10	≤10	≤8
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
反應時間 (2)	ms	100	100	100
保護等級		IP 40	IP 40	IP 40
標準
CE 合規		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC	D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC	D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC
設定點
設定點數量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點	V (dc)A (dc)	≤30	≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1	1
診斷端口
協議		Web pages, REST services, RS232-ASCII	Web pages, REST services, RS232-ASCII	Web pages, REST services, RS232-ASCII
讀數		pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)
內部容積
內部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 8 VCR®	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 DN 16 ISO KF	g	1670	1670	1670
重量 DN 16 CF-R	g	1670	1670	1670
重量 8 VCR®	g	1670	1670	1670