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上海瓦克儀器有限公司
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主要性能體現在于其減震的頻率范圍，以及有效減震百分比
主要性能體現在于其減震的頻率范圍，以及有效減震百分比。TMC從0.6Hz開始具備減震效果，并且具有對2Hz以上的有效頻率范圍的震動減震效可達90%的性能。主要采用壓電主動震動消除。TMC的出現，使得許多高精度和穩定性要求的實驗和儀器運用成為可能。TMC減震臺的“剛性"式慣性消振支撐系統是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環境中以高標準運行。
主要特點：
? 始于0.6Hz的隔振
? 2Hz開始的主動減振效果可達90%的的隔振效果
? 高靈敏度，低頻慣性速度傳感器
? 沒有任何空氣隔振系統的局限性
? 串行和高力壓電技術
主要應用：
? 聚焦離子束隔振
? 掃描電子顯微鏡隔振
? 精密儀器和機械設備隔振
? 半導體工業隔振
? 小型雙光束儀器隔振
? 高大工具的建筑地面振動隔離
? 半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備的震動隔離
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