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更新時(shí)間:2023-05-31 09:03:09瀏覽次數(shù):181次
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日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐,潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。 ......
日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐,潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn):
. zui高工作溫度360℃和500℃。
. 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器,可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
. 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2 消耗量很低。
. 磁密封保持高氣密性,采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
. 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。
. 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。
. 可選型號(hào)DTN430C/630C/450C/650C
安全性
. 門檢測(cè)開(kāi)關(guān)
. 溫度過(guò)升防止器
. 氧濃度異常安全裝置
. 氮?dú)鈮毫z測(cè)
. 氮?dú)饬髁繖z測(cè)
. 冷卻水流量檢測(cè)
. 漏水傳感器
. 過(guò)電流漏電漏電保護(hù)開(kāi)關(guān);
日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù):
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