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實驗室石墨烯CVD設備：1200度管式爐+真空系統+混氣系統+水冷系統

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西格馬高溫電爐

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產品簡介

西格馬實驗室石墨烯CVD由管式爐+真空系統+混氣系統+水冷系統組成，石墨烯CVD管式爐溫度可以達到1200度(可定制),可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細介紹

西格馬實驗室石墨烯CVD由管式爐+真空系統+混氣系統+水冷系統組成，石墨烯CVD管式爐溫度可以達到1200度(可定制),可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

SGM CVD-1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。

軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

石墨烯CVD爐用途：

可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、裝飾等領域。

石墨烯CVD爐參數：

電爐名稱：西格馬石墨烯CVD

電爐型號：SGM-CVD1200

額定溫度：1200℃

工作溫度：≤1100℃

加熱元件：合金加熱絲

氣路控制：浮子流量計/質量流量計

真空系統：旋片泵/擴散泵/分子泵

可選配件：水冷機/數顯真空計

溫控方式：智能化30段PID微電腦可編程控制

溫控保護：具有超溫及斷偶報警功能

熱電偶：K型

爐膛材質：高純氧化鋁多晶纖維

加熱速率：0-20℃/分

恒溫精度：±1℃

極限真空：6.0×10-5Pa

工作真空：7.6×10-4Pa

均勻性：±5℃

爐殼結構：雙層殼體帶風冷系統

額定功率：4Kw

供電電源：110-480V 50/60Hz

售后服務：12個月質保，終身保修(易損件除外)

哪個廠家的石墨烯CVD質量好?石墨烯CVD生產廠家西格馬石墨烯CVD質量好，售后完善。

關鍵詞：水冷系統流量計浮子流量計質量流量計真空計

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