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氣體用超小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)

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產品型號FSM

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更新時間：2022-12-15 18:41:29瀏覽次數：230次

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喜開理（中國）有限公司

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產品簡介

是壓縮空氣、氮氣用超小型流量傳感器。輕量、高速響應，電子部件等的吸附確認。行業半導體制造工序（后工序）

詳細介紹

【超小型、輕量】（FSM-X系列）
通過分離傳感頭實現了超小型化。
實現了比以往體積減少52%，輕量4G、8mm。
產品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類型。

【非線性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領域的分辨率。

【高速響應】（FSM-V?FSM-X系列）
實現了以往無法實現的5ms的高速響應設計

【雙方向測量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進行雙方向測量，吸附確認用途。

型號	名稱	配管口徑（Φ、M)	備注
FSM-X	流量開關（非線性）	4,5
FSM-V	流量傳感器（線性）	1.8,4,5
FSM-V-D	顯示器	-
FSM-VFM	FSM?FSM-V專用直管型過濾器	-
FSM-A	模擬輸出1點		2009年03月31日銷售中止【停產產品】代替產品：FSM2系列
FSM-N	開關輸出PNP 2點、模擬輸出1點		2009年03月31日銷售中止【停產產品】代替產品：FSM2系列
FSM-P	開關輸出PNP 2點、模擬輸出1點		2009年03月31日銷售中止【停產產品】代替產品：FSM2系列