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北京世紀科信科學儀器有限公司
探頭掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LS-AFM
◆ 實現樣品保持不動,探針移動掃描的商業化原子力顯微鏡;
◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制,特別適合超大的樣品檢測;
◆ 樣品臺可拓展性強,非常便于進行多儀器聯用實現原位檢測;
◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺,可任意編程多點位置實現快速自動化檢測;
◆ 龍門架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺;
◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品;
◆ 高倍輔助光學顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域;
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優于98%
工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | Z升降臺 | 步進電機驅動控制,最小步長10nm |
選配模式 | 摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | Z升降行程 | 15mm(可選20mm,25mm) |
力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | 光學定位 | 5X光學物鏡(可選10X/20X物鏡) |
XYZ掃描方式 | 探針驅動式掃描,壓電陶瓷管掃描器 | 攝像頭 | 500萬像素數字CCD |
XY掃描范圍 | 70×70um | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
Z掃描范圍 | 5um | 掃描角度 | 0~360° |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 運行環境 | Windows XP/7/8/10操作系統 |
XY樣品臺 | 步進電機驅動控制,移動精度1um | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
XY移動行程 | 100×100mm(可選200×200mm,300×300mm) | 儀器結構 | 龍門架式掃描頭,大理石底座 |
樣品載物臺 | 直徑100mm(可選200mm,300mm) | 減震方式 | 彈簧懸掛式(可選主動式減震臺) |
樣品重量 | ≤15Kg |
應用案例
二維光柵/掃描范圍15µm×15µm
一維光柵/掃描范圍50µm×50µm
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