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上海百賀儀器科技有限公司
日本東京精密S5000DX表面粗糙度儀在驅動器上采用線性馬達技術,使得測量的速度快,振動小。
設計新穎
新的圓柱形設計,可使儀器檢測更大的工件。
速度快,振動小
在驅動器上采用線性馬達技術,使得測量的速度快,振動小。高速測量(200mm/s),實現高生產率。
測量范圍(mm)
Z軸(縱向)13mm/50mm測臂、臂26mm/100mm測臂
X軸(橫向)200mm
精度
Z軸指示精度(縱向)±(0.2+2| H |/100) mm(±0.206μm/ H±6mm)
測量分辨率0.31nm/50mm測臂
X軸指示精度(橫向)±0.2+L/1000μM(±0.4μm/L200mm)
測量分辨率0.54nm
直線度精度0.05+3L/10000μm(0.11μm/L200mm)
測量方式
Z軸(縱向)高穩定倍光路型激光干涉計
X軸(橫向)反光分析光尺
粗糙度處理功能
1、參數或計算類型
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
標準Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,
SR,SAR
2、評價曲線
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線aKIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡波紋度曲線表面特性圖表負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線
3、傾斜補償
直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵曲線補償(直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內)
CUTOFF值0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm(9級)任意(0.001-50mm)縱倍率 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 橫倍率0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
輪廓度處理功能
1、參數或計算類型
點、直線、部分圓、橢圓、最在點、最小點、距離、坐標著、極坐標差、直交/極坐標差顯示、交叉要素(點-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓)、對稱要素(點-點、點-圓、點-橢圓、直線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓¬-橢圓)、面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結果與設計值比對、鏡面反轉、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄.回放功能、形狀設計值比對、似合功能、設計值生成、
2、IGES/DXF轉換
基準設定原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動
最小測量間距0.0005~1mm
測量點數150,000點
縱倍率0.01~10,000,000倍(任意、自動)
橫倍率0.01~10,000,000倍(任意、自動)
3、驅動速度
上下移動速度(Z軸)0~200mm/s
測量速度(X軸)0.03~3mm/s(粗糙度測量時)0.02~20mm/s(輪廓度測量時)
移動速度(X軸)0.02~60mm/s
上下驅動范圍500mm
驅動部交換式、0.75mN、2mmR半徑、金剛石
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