用于半導體的 Helios™ NanoLab™ 1200AT DualBeam™
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上海百賀儀器科技有限公司
日立場發射透射電子顯微鏡HF-3300是一款300kV的冷場發射透射電鏡,日立公司久負盛名的冷場發射電子槍和300kV高壓系統相結合保證了HF-3300具有超高分辨成像和高靈敏分析能力,HF-3300具有的雙重雙棱鏡全息攝影功能,可以獲得許多透射電子顯微術無法獲得的信息,特別是與材料的物理性能相關的相位信息(如電勢場、磁場等).
主要特點:
高亮度場發射電子槍冷
冷場發射電子槍先天具有的高亮度和高能量分辨率的特點,使納米量級分析研究成為可能,對超高分辨圖像和電子全息攝影具有極大貢獻。
300kV高壓系統
300kV高壓系統具有更高的穿透能力,保證了厚樣品的原子分辨率圖像,降低了樣品制備難度,尤其對于金屬、陶瓷等高原子序數樣品的觀測十分有利。
的分析能力
新引入了雙重雙棱鏡全息攝影功能、高空間分辨率電子能量損失譜(EELS)和高精度平行納米束衍射技術等的分析技術。
可與FIB聯用樣品桿
日立公司專有的樣品桿可適應FIB、TEM和STEM的使用。
簡便易用的控制系統
基于Windows開發的電腦控制系統、馬達驅動可動光闌和5軸馬達樣品臺使得儀器簡單易用,10分鐘的升壓時間和1分鐘的換樣時間保證了儀器高效率的運轉。
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