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上海納騰儀器有限公司
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NX-PTR 全自動在線檢測原子力顯微鏡
Park Systems的PTR系列是針對全自動工業級線上的原子力顯微鏡解決方案，適用于（不限于）長形條、磁頭萬向節組件(HGA)級滑塊以及單獨滑塊的極尖沉降自動測量。憑借著亞納米級精確度、高重復精度以及高通量，PTR系列是滑塊廠商提高整體產量的理想測量工具，硬盤驅動滑塊制造業要求工具不僅可以快速且流暢地測量極尖沉降，同時還要保證高標準的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領域。在超精確的極尖沉降測量之外，自動化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅動器滑塊廠商的好的選擇，兼顧佳的質量和高的產量。大多數原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準確測量極尖沉降，首先是大區域參考掃描，隨后小區域高分辨率掃描。
多次掃描占用大量時間，且限制了通量的提高。我們的掃描系統帶來真正的平面掃描，有效地降低掃描次數。此外，True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利，在延長使用壽命的同時，提供更持久的高分辨率成像效果。相應地，Park NX-PTR能夠生成感興趣區域的詳細準確圖像，而無需進行參考掃描，以便修正掃描器偽影。
基本技術參數
電動XY平臺 | 電動Z平臺 | 噪音 |
行程可達200mm x 200mm, 2 μm重現性 0.095nm分辨率 | 25 mm Z行程距離 0.1μm 分辨率 小于1μm 重現性 | 小于 0.5 μm/s |
尺寸&重量 | 控制箱 | 設備需求環境 |
880（w）x 980（d）x 1460（h） 620kg | 600（w）x 900（d）x 1330（h） 170kg | 室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60% |
主要功能
1.全自動線上，快速，精準可靠的PTR測量
2.不需要多次掃描
3.自動在線硬盤滑塊測量
4.自動缺陷檢測分析
5.自動激光校正，以及自動轉換探針
應用
全自動化極尖沉降(PTR)測量
實現各類墻角的自動測量與分析。
實現各類缺陷的全自動測量與分析，如表面尖角。
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