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上海納騰儀器有限公司
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徠卡多功能離子束研磨儀 Leica EM RES102
*全自動多功能離子束研磨系統，可進行離子減薄（用于TEM)；離子束拋光，離子刻蝕，樣品離子清洗及斜坡切割（用于SEM)等
*離子束能令1keV 10keV,2把離子槍可分別±45°傾斜，樣品臺傾斜角度-120°至210°，離子束加工角度0°至90°
*樣品平面擺動角度<360°，垂直擺動距離±5mm
*可容納zei大樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm
*可選配樣品臺：TEM樣品臺（?3.0mm或?2.3mm），FIB樣品清洗臺，SEM樣品臺，斜坡切割樣品臺（對樣品35°或90°斜坡切割）及相應冷凍樣品臺
*全無油真空系統，樣品室帶有預抽室，保證樣品交換時間<1分鐘
*全電腦控制，觸摸屏操作界面，內置視頻觀察系統，可實時觀察樣品處理過程
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