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茂鑫實業（上海）有限公司
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尼康工具顯微鏡MM-400/800另外也可以選擇搭配 Auto Focuse 系統及 Focusing Aid（ 對焦輔助 ） 這次NIKON光學系統采用目前的裂像的方法來輔助操作員來達到對焦判定可有效降低人為的測定誤差， 提升量測精度
尼康工具顯微鏡MM-800
MM-400/800系列結合了測量顯微鏡的關鍵性能特點：
更精確
數字成像和視覺處理計量學
更大的舞臺，增加樣品處理
非接觸Z高度測量
與數據處理系統DP-E1A的協調
10個可用于不同應用的主體
對于大行程階段（值為300mm x 200mm x 200mm）
MM-800/LM：電動Z軸
MM-800/L：內置Z線性刻度
MM-800：雙軸測量模型
MM-800/S：用于第三方DRO
MM-800/SL：用于內置Z線性刻度的第三方DRO
對于較小沖程階段（，150mm x 100mm x 150mm）
MM-400/LM：電動Z軸
MM-400/L：內置Z線性刻度
MM-400：雙軸測量模型
MM-400/S：用于第三方DRO
MM-400/SL：用于內置Z線性刻度的第三方DRO
尼康工具顯微鏡MM-800特征
300mm x 200mm載物臺
增加的機身強度允許使用更大的工作臺，例如PS12x8C工作臺，從而允許使用更大的工件。
MM控制器背包接口
照明、X/Y階段和Z數據可以連接到MM控制器，作為運行E-Max軟件的外部計算機的接口，用于數據處理和系統控制。
全白色LED照明器
高強度白色LED照明器是brightfield的標準配置。該光源無需更換燈泡，色溫恒定，測量精度高，效率高。
聚焦援助（FA）
提供銳利的圖案，在Z軸測量期間實現精確聚焦。由于不同目標的聚焦深度不同而產生的測量誤差被最小化。
應用
半導體封裝、鍵合放置、回路高度、FPD面板（LCM）MEMS、晶圓級CSP、HDD滑塊
![[fig.]](https://img41.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb56d9a5004c70a541867923a69c92ffc3.jpg)
![[fig.]](https://img41.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb656fc6c7d7110825ef9330a3e9dce6e4.jpg)
![[fig.]](https://img43.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb9e6e81cc844a6b4bc763a11c18864023.jpg)
![[fig.]](https://img49.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb7df197fa4a1ce5c3465052f70790e6cd.jpg)
FPC的金屬化圖案 FFD-單元工藝 CCD 彩色濾片
![[fig.]](https://img49.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb526ffbf373524e5f5f8884fe2c306b21.jpg)
![[fig.]](https://img49.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb385716f91baac4517e6b176e76ff9b74.jpg)
![[fig.]](https://img52.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675cebf5be955f37c930f519e9819b0d9f1ed6.jpg)
![[fig.]](https://img54.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675cebcf09e128fada20ee160f6c57d4e1812f.jpg)
明場 暗場 明場 反射熒光
![[fig.]](https://img54.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd239eedd299e6fd44e31f7de8be1675ceb2f21a925ab200c31d837f63b257ef6b8.jpg)
DIC
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