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捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡配備了新開(kāi)發(fā)的超級(jí)混合式物鏡(SHL)，在保持的可操作性的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了低加速電壓下的高分辨率，電子源采用浸沒(méi)式（in-lens）肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，因而能以大束流電流進(jìn)行穩(wěn)定的分析。捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的物鏡采用的是靜電場(chǎng)和靜磁場(chǎng)疊加的超級(jí)混合式物鏡(SHL)，由于減少了色差及球差，極大地提高了低加速電壓下的分辨率。此外，SHL不會(huì)對(duì)樣品形成磁場(chǎng)影響，因此觀察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測(cè)試可以不受制約。能量過(guò)濾器位于高位檢測(cè)器 (UED)的正下方，可以選擇能量。即使在低加速電壓下，也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子，因而可以通過(guò)低加速電壓下的背散射電子像觀察樣品的淺表面。給樣品加以偏壓(GB)，對(duì)入射電子有減速、對(duì)釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達(dá)樣品時(shí)的能量很低，也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用幾十電子伏能量的入射電子束，就可以進(jìn)行更高分辨率的觀察。

捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡配有四種檢測(cè)器：高位檢測(cè)器(UED) 、高位二次電子檢測(cè)器(USD)、背散射電子檢測(cè)器(BED)和低位檢測(cè)器(LED)。UED過(guò)濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會(huì)改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測(cè)被過(guò)濾器彈回的低能量電子，BED通過(guò)檢測(cè)低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

分辨率	0.8 nm (15 kV)、1.2 nm (1 kV) 分析模式：3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率	× 25 ～ × 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960 pixels display);
加速電壓	0.01kV ～ 30kV
束流	幾pA～200nA
自動(dòng)光闌角控制透鏡	內(nèi)置
檢測(cè)器	高位檢測(cè)器(UED) 低位檢測(cè)器(LED)
能量過(guò)濾器	UED過(guò)濾器電壓可變功能內(nèi)置
Gentle Beam模式	內(nèi)置
樣品臺(tái)	全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) X：70mm Y：50mm Z：2mm～25mm 傾斜－5～＋70° 旋轉(zhuǎn)360°