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伯東企業（上海）有限公司
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Nor-Cal Products 的氣動線性真空閘閥的真空范圍為1x10 -9 Torr.Nor-Cal Products 氣動線性真空閘閥外形纖薄, 縮短了氣體通道. 其較小的體積可減少放氣并加快抽氣速度.氣動線性真空閘閥內部和外部均經過電拋光, 以提高耐腐蝕性. 氣動線性真空閘閥可以減輕門打開時可能產生 的振動, 這使得這些閥非常適合半導體和其他對振動敏感的過程.
Nor-Cal 氣動線性真空閘閥技術參數
| Model Number | Nom. ID | Flang e Type | Conductance (molecular-l/sec.) | A | B | C | D | E | F | G |
| GVP-0622-NW | 5/8 | NW-16 | 12 | 2.39 | 1.75 | 2.96 | 1.00 | 2.55 | 1.88 | 1.31 |
| GVP-0622-CF | 5/8 | 1.33 CF | 12 | 2.39 | 1.75 | 1.56 | 1.00 | 2.55 | 1.55 | 1.31 |
| GVP-1502-NW | 11/2 | NW-40 | 98 | 4.69 | 3.40 | 1.99 | 2.00 | 5.29 | 3.31 | 2.45 |
| GVP-1502-CF | 11/2 | 2.75 CF | 130 | 4.69 | 3.40 | 2.03 | 2.00 | 5.29 | 3.31 | 2.45 |
| GVP-2002-NW | 2 | NW-50 | 220 | 5.60 | 4.12 | 1.99 | 2.00 | 5.29 | 3.81 | 2.96 |
| GVP-2002-CF | 2 | 3.38 CF | 300 | 4.12 | 5.60 | 2.28 | 2.00 | 5.29 | 3.81 | 2.96 |
| GVP-2502-CF | 21/2 | 4.50 CF | 520 | 6.50 | 4.81 | 2.40 | 2.00 | 5.29 | 4.37 | 3.52 |
| GVP-2502-ASA | 21/2 | ASA-6* | 610 | 6.50 | 4.81 | 2.03 | 2.00 | 5.29 | 4.37 | 3.52 |
| GVP-2502-ISO | 21/2 | ISO-63 | 610 | 6.50 | 4.81 | 2.03 | 2.00 | 5.29 | 4.37 | 3.52 |
| GVP-2502-ISO-OF | 21/2 | ISO-63-OF | 320 | 6.50 | 4.81 | 3.46 | 2.00 | 5.29 | 4.37 | 3.52 |
| GVP-3002-CF | 3 | 4.62 CF | 840 | 7.70 | 5.77 | 2.53 | 2.00 | 5.29 | 4.94 | 4.28 |
| GVP-3002-ASA | 3 | ASA-7.5* | 1,070 | 7.70 | 5.77 | 2.03 | 2.00 | 5.29 | 4.94 | 4.28 |
| GVP-3002-ISO | 3 | ISO-80 | 1,070 | 7.70 | 5.77 | 1.97 | 2.00 | 5.29 | 4.94 | 4.28 |
| GVP-3002-ISO-OF | 3 | ISO-80-OF | 550 | 7.70 | 5.77 | 3.84 | 2.00 | 5.29 | 4.94 | 4.28 |
| GVP-4002-CF | 4 | 6.00 CF | 1,700 | 10.76 | 8.13 | 2.97 | 2.97 | 6.95 | 7.00 | 5.65 |
| GVP-4002-ASA | 4 | ASA-9* | 2,100 | 10.76 | 8.13 | 2.41 | 2.97 | 6.95 | 7.00 | 5.65 |
| GVP-4002-ISO | 4 | ISO-100 | 2,100 | 10.76 | 8.13 | 2.41 | 2.97 | 6.95 | 7.00 | 5.65 |
| GVP-4002-ISO-OF | 4 | ISO-100-OF | 1,400 | 10.76 | 8.13 | 4.25 | 2.97 | 6.95 | 7.00 | 5.65 |
| GVP-6002-CF | 6 | 8.00 CF | 5,400 | 14.07 | 10.64 | 3.17 | 2.97 | 6.95 | 8.75 | 7.55 |
| GVP-6002-ASA | 6 | ASA-11* | 7,100 | 14.07 | 10.64 | 2.41 | 2.97 | 6.95 | 8.75 | 7.55 |
| GVP-6002-ISO | 6 | ISO-160 | 7,100 | 14.07 | 10.64 | 2.36 | 2.97 | 6.95 | 8.75 | 7.55 |
| GVP-6002-ISO-OF | 6 | ISO-160-OF | 4,000 | 14.07 | 10.64 | 4.25 | 2.97 | 6.95 | 8.75 | 7.55 |
| GVP-8002-CF | 8 | 10.00 CF | 12,200 | 18.42 | 13.93 | 3.35 | 2.97 | 6.95 | 11.25 | 10.02 |
| GVP-8002-ASA | 8 | ASA-11* | 14,500 | 18.42 | 13.93 | 2.76 | 2.97 | 6.95 | 11.25 | 10.02 |
| GVP-8002-ISO | 8 | ISO-200 | 15,200 | 18.42 | 13.93 | 2.66 | 2.97 | 6.95 | 11.25 | 10.02 |
| GVP-8002-ISO-OF | 8 | ISO-200-OF | 9,500 | 18.42 | 13.93 | 4.25 | 2.97 | 6.95 | 11.25 | 10.02 |
| GVP-10002-CF | 10 | 12.00 CF | 24,900 | 24.04 | 18.30 | 3.65 | 4.75 | 9.47 | 13.44 | 11.99 |
| GVP-10002-ASA | 10 | ASA-16* | 24,800 | 24.04 | 18.30 | 3.15 | 4.75 | 9.47 | 13.44 | 11.99 |
| GVP-10002-ISO | 10 | ISO-250 | 26,900 | 24.04 | 18.30 | 3.15 | 4.75 | 9.47 | 13.44 | 11.99 |
| GVP-10002-ISO-OF | 10 | ISO-250-OF | 15,400 | 24.04 | 18.30 | 5.51 | 4.75 | 9.47 | 13.44 | 11.99 |
| GVP-12002-CF | 12 | 14.00 CF | 34,600 | 28.89 | 22.03 | 3.89 | 4.75 | 9.47 | 15.90 | 14.28 |
| GVP-12002-ASA | 12 | ASA-16* | 42,800 | 28.89 | 22.03 | 3.15 | 4.75 | 9.47 | 15.90 | 14.28 |
| GVP-12002-ISO | 12 | ISO-320 | 42,800 | 28.89 | 22.03 | 3.15 | 4.75 | 9.47 | 15.90 | 14.28 |
| GVP-16002-ISO | 16 | ISO-400 | 74,905 | 37.85 | 28.79 | 3.85 | 6.95 | 10.51 | 19.81 | 18.65 |
*注:所有ASA法蘭閥門都沒有O形環槽. 可根據用戶要求提供凹槽.
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