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Pfeiffer 四級桿質(zhì)譜分析儀 PrismaPlus

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更新時間：2022-10-03 12:17:19瀏覽次數(shù)：405次

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產(chǎn)品簡介

Pfeiffer 四級桿質(zhì)譜分析儀 PrismaPlus

詳細(xì)介紹

殘余氣體分析質(zhì)譜儀 PrismaPlus--四級桿質(zhì)譜分析儀
上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列，模塊化設(shè)計，質(zhì)量數(shù)范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內(nèi)置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲，適用于多種測量用途，使用壽命長。
Pfeiffer 四極質(zhì)譜儀 PrismaPlus 主要優(yōu)勢：
1. 模組化設(shè)計提供了產(chǎn)品適應(yīng)性
2. 結(jié)構(gòu)緊湊，性能出眾
3. 多種介面，系統(tǒng)集成簡單
4. 可通過乙太網(wǎng)網(wǎng)路化
5. 測試過程快速穩(wěn)定，解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設(shè)計保證的可靠性
8. 的可檢測分壓達(dá)1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體，操作直觀
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術(shù)參數(shù)：

型號	QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3		QMG 220 M1			QMG 220 M2		QMG 220 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)				電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300		1–100			1–200		1–300
四極桿直徑／長度	6/100 mm
最小檢測極限 F mbar	1X10^-12	2X10^-12	4X10^-12		5X10^-12			1X10^-11		2X10^-11
最小檢測極限 M mbar	-	-	-		1X10^-14			< 2X10^-14		< 4X10^-14
對Ar的靈敏度 F A/mbar	1X10^-3	6X10^-4	3X10^-4		5X10^-4			3X10^-4		1.5X10-4
對Ar的靈敏度 M A/mbar	-	-	-		200			200		100
工作壓力 F	1X10-4 mbar
工作壓力 M mbar	-	-	-		1X10-5			1X10^-5		1X10^-5
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm		< 10 ppm			< 20 ppm		< 50 ppm
操作溫度 F	150 °C
烘烤溫度 F	200 °C / 300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
重量	2.4 kg	2.4 kg		2.4 kg		3.8 kg	3.8 kg		3.8 kg

殘余氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用：四極質(zhì)譜儀 QMG非常適合于檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導(dǎo)體生產(chǎn) 6. 玻璃鍍膜 7. 研發(fā) 8. 真空工藝

上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例一：分子束外延 MBE 氣體分析
Pfeiffer 質(zhì)譜應(yīng)用
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例二：對 XPS 系統(tǒng)的分析室殘余氣體進(jìn)行定性和半定量分析
上海伯東德國 Pfeiffer
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例三：分析真空釬焊過程中產(chǎn)生的氣體成分和含量
普發(fā)質(zhì)譜應(yīng)用
1.設(shè)計緊湊
PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的結(jié)合是 PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點(diǎn)。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設(shè)計和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。
2.應(yīng)用范圍廣闊
通過可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀是從*，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的方案。
3.檢測速度快，靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀可以在三個不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規(guī)，PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀就可以作為一個精確的全壓監(jiān)控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺。結(jié)合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網(wǎng)，數(shù)位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點(diǎn)滑鼠就可以啟動預(yù)設(shè)的功能。

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀尺寸及配件：

Pfeiffer 氣體質(zhì)譜分析儀：上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國 Pfeiffer 銷售維修中心，我司是國內(nèi)代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司，99% 并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。