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伯東企業（上海）有限公司
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Pfeiffer 四級桿質譜分析儀 PrismaPlus
殘余氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級桿質譜分析儀
上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質譜 QMG系列，模塊化設計，質量數范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲，適用于多種測量用途，使用壽命長。
Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優勢：
1. 模組化設計提供了產品適應性
2. 結構緊湊，性能出眾
3. 多種介面，系統集成簡單
4. 可通過乙太網網路化
5. 測試過程快速穩定，解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設計保證的可靠性
8. 的可檢測分壓達1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體，操作直觀
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數：
| 型號 | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | QMG 220 M1 | QMG 220 M2 | QMG 220 M3 | ||||
| 檢測器 | 法拉第 Faraday (F) | 電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||||||
| 質量數 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | ||||
| 四極桿直徑／長度 | 6/100 mm | |||||||||
| 最小檢測極限 F mbar | 1X10-12 | 2X10-12 | 4X10-12 | 5X10-12 | 1X10-11 | 2X10-11 | ||||
| 最小檢測極限 M mbar | - | - | - | 1X10-14 | < 2X10-14 | < 4X10-14 | ||||
| 對Ar的靈敏度 F A/mbar | 1X10-3 | 6X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 3X10-4 | 1.5X10-4 | ||||
| 對Ar的靈敏度 M A/mbar | - | - | - | 200 | 200 | 100 | ||||
| 工作壓力 F | 1X10-4 mbar | |||||||||
| 工作壓力 M mbar | - | - | - | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 | ||||
| 對臨近質量數的影響 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | ||||
| 操作溫度 F | 150 °C | |||||||||
| 烘烤溫度 F | 200 °C / 300 °C | |||||||||
| 連接法蘭 | DN 40 CF-F | |||||||||
| 重量 | 2.4 kg | 2.4 kg | 2.4 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | ||||
殘余氣體分析質譜儀應用：四極質譜儀 QMG非常適合于檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝
上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例一：分子束外延 MBE 氣體分析
上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例二：對 XPS 系統的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析
上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例三：分析真空釬焊過程中產生的氣體成分和含量
1.設計緊湊
PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀積累了豐富的應用經驗，高靈敏度，高穩定性和智慧化操作的結合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設計和簡單的系統集成，并從中受益。
2.應用范圍廣闊
通過可選擇質量數范圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質譜儀可以應用于多個領域，例如：工業和分析領域、研發、檢漏、半導體生產以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從*，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的方案。
3.檢測速度快，靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質譜儀可 以在三個不同的質量數范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結果。在真空系統中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規，PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作為一個精確的全壓監控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數記錄的易讀平臺。結合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網，數位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統中去。輕點滑鼠就可以啟動預設的功能。
PrismaPlusTM 四極質譜儀尺寸及配件：
Pfeiffer 氣體質譜分析儀：上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 銷售維修中心，我司是國內代理 Pfeiffer 產品的公司，99% 并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務。
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