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激光燒蝕固體進樣系統

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產品型號LSX-213型

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廠商性質其他

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更新時間：2023-07-18 14:59:29瀏覽次數：100次

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產品簡介

激光燒蝕固體進樣系統

詳細介紹

LSX-213采用高能量DUV（深紫外）213nm固 態Nd:YAG激光，精密的樣品顯微觀察成像系統，高精度樣品工作臺以及功能強大的軟件系統，為分析工作者和分析樣品之間建立了直接的“互感”橋梁。 LSX-213把固態激光的方便，堅固耐用和DUV激光的高效燒蝕性能結合，是半導體、地質、環境、生物、金屬、刑偵等領域固體進樣的。
激光系統

  • 213 nm固態Nd:YAG激光、激光能量：4.5mJ/脈沖
  • 輸出能量：0-99%
  • 脈沖寬度：5ns
  • 脈沖頻率：1-20HZ，Q開關控制
  • 燒蝕斑點：5μm-300μm ：10-200μm（軟件光圈控制），所有光斑均具有相同的能量密度
  • 密閉、充氮保護的激光器、機械和熱隔離的激光光路。穩定、可靠
光學觀察和成像系統：
  • 計算機控制的60-600倍顯微成像，自動變焦的數碼成像
  • ＜5μm的光學分辨率
  • 高亮度LED陣列照明，即使在放大倍數下也能獲得的觀察效果
  • 不管是反射光還是透射光，亮度0-99%可調
  • 配置偏振鏡系統
  • 密閉、機械和熱隔離成像系統，成像的穩定，清晰和長壽命
取樣系統：
  • 高精度X-Y-Z三維移動樣品臺，0.25μmμ步進分辨率
  • 配置高精度質子流量計，可選氮氣作為載氣，以提高分析靈敏度
  • 標配樣品室：52mm(φ)×50mm(H),另外多種規格可選
  • 獨立的取樣室設計，最小的空氣殘留和的沖洗時間
  • 可拆式石英樣品室窗，清洗和樣品維護方便、簡單
  • 配置微小薄片樣品架
  • 可伸出的樣品室，樣品更換方便、安全、樣品室復位后可自動吹掃
樣品池：

  • 采用堅硬牢固的高密度聚甲醛樹脂材料（性質類似于TFM），對樣品沒有吸附，
  • 具有良的樣品傳輸效率，減少樣品傳輸引起的分流效應
  • 樣品室內的氣體已“湍流”的形式傳輸樣品，保證樣品在樣品池內的任何位置都具有均一的氣體敏感性和均一的沖洗完整性
軟件系統：
Digilaz Ⅱ 軟件：
  • Windows 2000、XP、NT操作系統，可安裝在ICP-MS（ICP）的計算機上的激光控制軟件與ICP-MS（ICP）同步
  • 同一屏幕顯示激光所有狀態及參數，樣品臺位置，載氣流量和照明控制等
  • “Map”功能可觀察整個樣品區域，并導視微區位置
  • 多種燒蝕模式：包括單點、多點、直線、分段直線、光柵式掃描和深度剖面等，滿足各種樣品形狀和分析要求
  • 測量燒蝕斑點或樣品表面的大小
  • 控制聚焦和樣品移動
  • 圖像的捕獲和注解，在線幫助、維修、維護數據庫
  • GeoPro數據處理軟件（選擇件）
技術規格：

  • 儀器大小：69cm×46cm×51cm
  • 數量：約75kg
  • 電源要求：100-240 VAC
  • 自帶循環冷卻水系統和安裝推車

關鍵詞：工作臺 流量計
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