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小流量計

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產品型號HLMFM

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更新時間：2022-11-21 16:40:05瀏覽次數：209次

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蘇州華陸儀器儀表有限公司

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產品簡介

小流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/氫氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量，小流量計主要應用于半導體、電子、化工、醫藥、食品等產品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等，小流量計口徑*小至1mm，螺紋連接，小流量計的量程比大于100：1，小流量計傳統的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，極大的降低了能源消耗，小流量計采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀。

詳細介紹

小流量計傳感器采用微機械加工技術，實現微小流量測量，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

工作原理：

感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作，在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高，當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

產品特點：

·產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化

·單個芯片的**流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠

·結構的優化，流量計的壓力損失達到*小化

·采用國際*新的傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠

·開創零點自校功能，測量更準確

·多種氣體實際標定，全量程補償

·快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理

·規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定

·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

·的流量計報警功能，使監控更可靠

·操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數

·運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的優選

技術參數：

·測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

·測量管徑：DN3，4，6，8，10，12 ，18

·流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

·流量測量準確度：±1.5%FS，±2.5%FS

·工作溫度范圍：-25℃-55℃

·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa，3.0MPa

·供電電源：24VDC±10%

·輸出信號：4-20mA，RS485通訊

·環境溫度：-25℃-55℃

外觀尺寸：

	L	D	H	G
DN3	74	30	127	G1/8
DN6	74	30	127	G1/4
DN8	90	30	127	G3/8
DN10	130	35	127	G1/2

小流量計行業應用：

小流量計近年來越來越多的被運用到工業生產中，為提高小流量的測量的準確性帶來了突破性的進展。測量小流量的流量計有玻璃轉子流量計和濕式流量計，一般像玻璃轉子流量計，如果他的直徑為2.5mm，空氣流量1000ml/min就可以認為是小流量。L/H這個級別的都可以認為是小流量了。能測的很少，玻璃有，質量也有，但是精度都在百分比以上。蘇州華陸專業生產銷售各類：小流量計！
小流量計在曝氣池氧含量的控制中起到關鍵作用，是控制系統中的眼睛，基于小流量計熱式原理，該流量計不需要溫度、壓力補償，可以輸出4～20mADC流量和溫度信號。在測量到曝氣流量后通過控制系統與需氧量相比較，產生的反饋信號控制調節閥的動作，當曝氣量大于所需量閥門開度減小；當曝氣量小于所需量閥門開度增大，使供氣量達到要求。
HLMFM系列小流量計的高可靠性和重復性，以及現場的免維護性，諸多優點使該產品在鼓風曝氣測量系統中發揮的作用日益明顯。它不但適用在曝氣測量，也同樣適用在污水處理的廢氣回收等工藝，為污水處理提供了重要保證。
小流量計應用于飲料設備及其它需測量小流量的設備和行業，提供**測量小流量（大概范圍35cc/m--2000cc/m)的解決方案，通過提供脈沖信號來計算流量；測量誤差正負1.5%，介質為溫度范圍-5℃--+95℃的水和其它可兼容流體，*高壓力可達20bar.
HLMFM系列小流量計是一種采用熱式原理設計專門測量小流量的專用小流量計，它具有的精度，特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發生器也集成在流量計內，在長期連續工作的條件下也能保持±1.5%的精度和±0.3%的重復性。由于靈巧的結構設計，小流量計在工作時不會形成沉淀，所以儀表的工作完成是“潔凈"的。因此，即使是極為苛刻的要求，例如半導體集成電路和芯片的生產流程中使用的刻蝕劑，具有的耐腐蝕性，并如有一個極微小的顆粒落下，也會使芯片成為廢品，這些HLMFM系列小流量計都能滿足。該系列小流量計用途十分廣泛：可用于測量、調節、分配液體，包括工業、化學、石油和商用咖啡機等。
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關鍵詞：小流量計傳感器芯片溫度傳感器控制閥

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