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蘇州華陸儀器儀表有限公司
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微小流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量，微小流量計主要應用于半導體、電子、化工、醫藥、食品等產品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等，微小流量計口徑*小至1mm，螺紋連接，微小流量計量程比大于100：1，微小流量計傳統的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，微小流量計采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀，讀數方便。
微小流量計
應用行業：
微小流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量，主要應用于半導體、電子、化工、醫藥、食品等產品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等，口徑*小至1mm，螺紋連接。
主要特點：
1、 采用微機電系統芯片作為傳感器，流量計的靈敏度同時具有良好的零點穩定性；
2、 單個芯片上實現多傳感器集成，使該流量計的量程比大于100：1；
3、 和傳統的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，極大的降低了能源消耗；
4、 采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀，讀數方便；
5、 本流量計帶有RS-485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理；
6、 可以選配4-20mA DC電流信號輸出；
7、 通過國家防爆認證，標志為ExiaIICT4。
| 測量范圍 | 0.45-45Nm/s（流速） |
| 精 確 度 | ±（1.5+0.15FS）% |
| 環境溫度 | -10-55℃ |
| 介質溫度 | -20-65℃ |
| 濕 度 | ≤95%RH |
| 顯 示 | 瞬時流量（0.000-999999.999）、累計流量（0..999） |
| 通信方式 | RS485 |
| 輸出信號 | 4-20mA |
| 供電電源 | 8-24VDC |
| 連 接 | NPT-F |
| 校準條件 | 氮氣，20℃，101.325kPa；可根據用戶要求進行實際介質標定 |
| 通徑 (mm) | 接口 尺寸 | 工作壓力 (MPa) | 流量范圍 | 備注 | |||
| SCCM | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
| 3.0 | 1/8〞 | 3.0 | 15-1500 | 0.15-15 | | | |
| 6.0 | 1/4〞 | 3.0 | | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
| 8.0 | 3/8〞 | 3.0 | | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
| 12.0 | 1/2〞 | 3.0 | | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
| 19.0 | 3/4〞 | 3.0 | | 10-1000 | 0.35-35 | 0.6-60 | |
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