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微電子研究所KW-5型臺式勻膠機/旋涂儀100-200mm

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產(chǎn)品型號KW-5

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更新時間：2022-12-23 16:38:14瀏覽次數(shù)：451次

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產(chǎn)品簡介

微電子研究所KW-5型臺式勻膠機/旋涂儀100-200mm

詳細介紹

微電子研究所KW-5型臺式勻膠機/旋涂儀100-200mm

參數(shù)：

手動旋鈕控制

> 基片尺寸φ100-φ200mm圓片（4英寸~8英寸）
        > 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%，膠的均勻性±5%
        > 轉(zhuǎn)速：500-5000轉(zhuǎn)/分
        > 勻膠階段：2段
        > 勻膠時間：Ⅰ速0~18S,；Ⅱ速0~60S
        > 電機功率：180W
        > 整機尺寸（長寬高）：425mmx500mmx300mm
        > 適應(yīng)用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

關(guān)鍵詞：臺式勻膠機

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