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產品簡介
產品介紹
OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內，附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。
渦輪分子泵(復合分子泵)的排氣原理：
渦輪分子泵由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內，附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。 同時，從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子，也能通過與轉子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是，上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度，而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域，渦輪分子泵是通過該轉子葉片和定子葉片發揮基本性能。
本公司在轉子葉片和定子葉片組合基礎上增加了“螺紋槽"構造。被壓縮到圓筒狀的旋轉部（轉子）的壁面的氣體分子，最終沿著固定部分（定子）的螺紋槽，移到泵的排氣口一側。 由于螺紋槽的作用，渦輪分子泵(復合分子泵)不僅在分子流域，在粘滯流也能排氣，尤其在粘滯流時可以大流量排氣。 因此，渦輪分子泵的適用壓力范圍被擴展，得到了很多用途的廣泛應用。此外，由于可以在高背壓下運轉，也有可能使用更小的、壓力更高的輔助泵。
無油的超真空環境
?機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
?可排稀有氣體和腐蝕性氣體
?可連續排大流量氣體
?可工作的壓力范圍寬。 (～10-10Pa）.
OSAKA渦輪分子泵TG-F系列使用了脂潤滑陶瓷軸承，實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強，可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產品。
多方位安裝
輕巧設計
節能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
多種通信模式
符合安全規格NRTL/SEMI-S2/CE
產品規格：
產品尺寸圖：
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