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水中臭氧分析儀-支持150SLPM流量-Model470
概述
Model470是溶解臭氧測(cè)量分析儀，為半導(dǎo)體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L的溶解臭氧測(cè)量。470已完成“預(yù)備清潔"，能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可簡(jiǎn)單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路中，支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到了高的性能，且擺脫了對(duì)參比液體測(cè)量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號(hào)向濕法處理過程控制臺(tái)遠(yuǎn)程報(bào)告測(cè)量的濃度。
技術(shù)指標(biāo)
| 產(chǎn)品型號(hào) | Model470 | 生產(chǎn)廠商 | 美國(guó)進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 測(cè)量原理 | 紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù) | 紫外光源 | 低壓汞燈 |
| 測(cè)量單位 | ppmw, mg/L | 量 程 | 0-150 mg/L (150 ppmw) |
| 精 度 | 0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準(zhǔn)） | 水流量 | 高達(dá)150 SLPM |
| 采樣端口 | 1", 3/4", 3/8" Flaretek® 連接 | 壓強(qiáng) | 55 PSI |
| 接觸材料 | 特氟龍®, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容 | 外殼 | 聚四氟乙烯特氟隆® |
| 尺寸 | 垂直固定(144 x 171 x 82 mm) | 電纜 | 特氟龍®外層 |
| 電源 | +15 VDC | 認(rèn)證 | CE 認(rèn)證 |
| 模擬輸出 | 4-20mA或0-5VDC，出廠時(shí)選擇 | 數(shù)字輸出 | I/O RS-232 或 RS485，出廠時(shí)選擇 |
| 遠(yuǎn)程校零 | 通過DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn) | 維護(hù) | 紫外燈每24個(gè)月替換一次，無其他預(yù)定維護(hù) |
